中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS+ #9174726 を販売中

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPS+は、集積回路の製造に使用される酸化物ドーパント源です。単一のウェーハ垂直高密度プラズマ（HDPCVD）反応で、多種多様な酸化物ドーパントを生成することができます。ホウ素などのp型ドーパントと、リンなどのn型ドーパントの両方を処理することができます。この原子炉は、極めて一貫したドーピングプロファイルを必要とするアプリケーションに適しています。AMAT Centura II DPS+は、最適な結果を得るためにウェーハ処理パラメータを動的かつ自律的に構成するラジカル独自のシグマネット制御装置を使用しています。また、8基のガス供給・排出ユニットを備えており、原料リアクタントの独立制御が可能で、高度にカスタマイズされたドーピングプロファイルが可能です。これには、ワークフロー効率を向上させる垂直マルチゾーンのモーター付きトラック、ガス分配均一性のための垂直上昇ガス分配機、および再構成とデータ収集のための改善されたソフトウェアパッケージが含まれています。この原子炉は、ACプラズマを備えたマルチゾーン可変動電源工具を使用して、正確な蒸着速度制御と均一なドーピングを提供するように設計されています。電力供給アセットは、各ゾーンへの電力を即座に調整するように設計されており、高い反復可能な生産プロセスを可能にします。また、高精度な結果を得るための温度管理モデルとして、加熱ノズルと埋め込み温度センサを備えており、蒸着および拡散プロセスを高精度に制御することができます。また、高精度な厚さと均一性の制御を可能にし、マルチゾーンデュアルフィルター装置はオンボードUVオゾンアナライザを介してアクセスできます。このシステムは、リアクタントの純度を監視し、汚染を引き起こす可能性のある未熟な粒子を特定するのに役立ちます。また、ウェーハの向きを正確にするためのセルフアライメントユニットと、均一性を向上させるための単方向加熱キャリアガスを備えています。応用材料Centura II DPS+は、原子炉室内の完全封じ込め用の真空ロック、放射室内の光学系の反射防止コーティングなど、幅広い安全機能を備えています。また、ツールの状態をリアルタイムで監視するための安全なリモート監視マシンと、プロセス履歴とデータを追跡するロギングアセットを備えています。このモデルは、稼働時間とコストを最大限に削減するため、複数のウェーハをロードする際に最適な効率で動作するように設計されています。APPLIED MATERIALS/Centura II DPS+は、非常に一貫したドーピングプロファイルを必要とする集積回路を製造するための信頼性の高い効率的な酸化物ドーパント源です。