中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #293792207 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293792207
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Metal etcher, 8"
SNMF Wafer
ESC Chuck
VHP+ Robot
Wide body load lock
STP-1300 Turbo pump
Controller rack
Foreline Valve
ISO Valve
Seriplex gas box
(2) DPS Chambers
(2) ASP Chambers
2001 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPSは、高度で高効率なシングルウェーハダイオード処理炉で、高度な技術処理に最適な性能、安定性、信頼性を提供するように設計されています。直径510mmの大型アクティブチャンバーを備え、薄膜成膜、エッチング、アニールなど幅広い加工に適しています。反応ガス供給装置は、チャンバーに注入された要素の圧力と流れを正確に制御し、ガス圧力、流量、パージ時間などのパラメータを調整することができます。この原子炉は、高効率のRFプラズマ源と、プラズマの強度と均一性を制御するために使用できるRFソース絶縁トランスデューサを備えています。さらに、AMAT Centura II DPSには、チャンバー圧力と真空を正確に制御するための包括的でプログラム可能な真空コントローラが装備されています。APPLIED MATERIALS Centura II DPSには、成長率の追跡、均一性マッピング、プロセスパラメータ制御などの強力なソフトウェア監視ツールが含まれています。さらに、Centura II DPSにはエラー処理ユニットが装備されており、機械の故障を容易に特定して対処できるため、処理作業をスムーズに実行できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPSは厳格な条件下で厳格にテストされており、最高の信頼性を得るための非常に堅牢な設計をしています。このツールはエネルギー効率が高く、メンテナンスを最小限に抑え、大量生産に優れた生産性と効率を提供できます。さらに、原子炉は、最も要求の厳しい処理でも、優れた均一な結果を提供します。要約すると、AMAT Centura II DPSは、優れた信頼性と制御、優れた結果の均一性、優れたエネルギー効率を提供する高度で高効率なシングルウェーハダイオード炉です。この原子炉は技術的な処理の適用のための理想的な選択であり、大量生産のための理想的なプラットホームを提供します。
まだレビューはありません