中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura II DPS #293762499 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPSは、デカミングやウェーハ洗浄からエッチングおよび誘電アプリケーションまで、さまざまなプロセスに使用される高度なエッチングリアクターです。この汎用性の高いエッチリアクターは、効率的かつ信頼性の高い方法で非常に複雑なマルチステッププロセスを実行することができます。AMAT Centura II DPSは、シングルウェーハ、LPCVDベースのエッチング機器で、ウェーハの自動ロードとアンロード、マルチゾーン温度制御を備えています。これにより、ユーザーはエッチングプロセスをカスタマイズし、一貫性を向上させることができます。また、ロードロックとダイレクトロードルックアフター（DLLA）ウェハハンドリングを備えており、さまざまな処理環境でウェハを使用することができます。さらに、内蔵のCCS （Computer Control Shutter）により、自動制御が追加され、プロセスパラメータを調整できます。APPLIED MATERIALTS Centura II DPSは、エッチング領域全体にわたって均一性を提供するように設計された特別なサーマルユニットで設計されています。この均一性は、プロセス領域全体にわたって均一なエッチング率を確保するため、最適なエッチング結果を得るために不可欠です。このマシンにはクリーニングオプションも含まれており、エッチングとウェハハンドリングを成功させるためにも不可欠です。Centura II DPSには、エッチング処理を最適化するために設計されたさまざまなソフトウェア機能も含まれています。これらの機能により、ユーザーはエッチング処理を完全に制御でき、複数の実行で一貫した結果が得られます。ソフトウェアはまた、ユーザーが自分の結果を分析し、それに応じて調整することができ、データ収集オプションの数を提供します。堆積プロセスの自動自己調整も利用でき、ユーザーに結果を最適化する機能を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura II DPSエッチングリアクターは、デカミングやウェハクリーニングからエッチングや誘電アプリケーションまで、さまざまなエッチング処理に最適です。堅牢な設計、汎用性の高い機能セット、効率的なプロセス制御により、信頼性の高い反復可能な結果を求めるユーザーに最適です。