中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura I Super-E #293656525 を販売中

ID: 293656525
CVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I Super-E Reactorは、化学処理用途および新材料の研究開発にとって重要な機器です。直径6インチまでのウェーハを処理し、より良い環境制御と再現性を提供するように設計されています。この装置は高機能であり、効率的なウェーハ処理のための多くの機能と機能を兼ね備えています。この原子炉には、温度調節器によって温度制御された単一のウエハチャンバーが装備されています。部屋は1100°C (2012°F)まで加熱することができます。AMAT Centura I スーパーEリアクターには、精密なエネルギー制御のための超高周波RF加熱源も付属しています。デジタル表示画面には、処理温度とパラメータが表示されます。原子炉は、プロセス結果が大気ガス汚染の影響を受けないように、超高真空環境を備えています。また、複数のガスインジェクションシステムが付属しており、プロセスをより柔軟かつ高精度にします。このシステムは、加熱エネルギーを監視および正確に制御するために調整可能な機能を備えたデジタル信号処理電子ハードウェアを採用しています。また、遮断されていない電源も備えており、一貫したプロセス結果を保証します。さらに、APPLIED MATERIALS Centura I Super-Eには緊急シャットオフスイッチがあり、ユニットが故障した場合の安全性を確保します。また、He-Purge Toolは、酸化を防ぎ、プロセス制御を促進するための不活性ガスの一貫した流れを提供します。全体として、Centura I Super-E Reactorはウェーハ処理に最適な選択肢であり、優れた信頼性、正確性、および環境および安全管理を提供します。アセットは操作とメンテナンスもかなり簡単で、必要なアプリケーションに最適なパフォーマンスを保証するためにアップグレードすることができます。
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