中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura I P1 #9133087 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura I P1
ID: 9133087
WxZ system, 6" Chamber Type/ Location Position A WXZ Position B WXZ Position C WxP Position D WxP Position E MULTE COOLDOWN Position F ORIENTER Electrical Requirements Line Voltage 200/208 VAC Line Frequency 50~60 Hz System Safety Equipment EMO Guard Ring INCLUDED Water and Smoke Detector ALARM System Labels ENGLISH with Chinese simplified Wxz Chamber Options Bias Generator STANDARD ENI 12B3 Slit Valve Oring STANDARD Throttle Valve STANDARD THROTTLE Wxz Chamber Options Bias Generator STANDARD ENI 12B3 Slit Valve Oring STANDARD Throttle Valve STANDARD THROTTLE Wxz Chamber Options Bias Generator STANDARD ENI 12B3 Slit Valve Oring STANDARD Throttle Valve STANDARD THROTTLE Wxz Chamber Options Bias Generator STANDARD ENI 12B3 Slit Valve Oring STANDARD Throttle Valve STANDARD THROTTLE Orienter Chamber Options Chamber Type MULTE COOL DOWN Pallet Options General Mainframe Options Facilities Type REGULATED Facilities Orientation MAINFRAME FACILITIES BOTTOM CONNECTION Weight Dispersion Plates Mainframe And Remote Chamber Flow Switch Options Loadlock/Cassette Options Loadlock Type Narrow Body AUTO ROTATION Loadlock Platform UNIVERSAL Cassette Type Supported 200 mm Loadlock Cover Finish ANTI-STATIC PAINTED Loadlock Slit Valve Oring Type VITON Wafer Mapping ENHANCED Integrated Cassette Sensor YES Transfer Chamber Options Transfer Ch Manual Lid Hoist YES Robot Type HP Robot Blade Option ROUGHENED AL BLADE Wafer On Blade Detector BASIC Loadlock Vent BOTTOM VENT System Controller Controller Type Cntrlr Electrical Interface BOTTOM FEED Controller Exhaust TOP EXHAUST System Monitors System Monitor 1 STANDALONE Monitor Cursor BLINKING CURSOR AC Rack Controller Facility Interface REMOTE UPS INTERFACE ONLY
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura I P1は、半導体製造のシングルウェハクラスタツールです。独自の低温浅いトレンチ絶縁(STI)プロセスを作成し、研磨、エッチング、真空加工によるデバイス応力を低減するように設計されています。この原子炉は、低k研磨と誘電研磨の両方をサポートし、スケーリング能力を高め、性能を向上させるデバイス構造を可能にします。また、製造時のプロセス工程の精度と再現性を向上させる高度なウェーハ伝達機構を誇っています。AMAT Centura I P1リアクターは、環境および製造上の不利なリスクを軽減しながら、高性能STIソリューションを提供するように設計された熱化学物質(TCO)クラスタツールです。このツールの中心には、処理中に正確で反復可能なウェーハ温度プロファイルを保証する脱イオン化水(DI) Ultrashowerがあります。このツールは、DIの流れと特定の気体前駆体のセットを実行して、ウエハ内に隔離された溝またはピットを形成します。その結果、デバイスの応力レベルを低減し、パフォーマンスを向上させる、真に均一なウェーハスケールのSTIプロセスが実現しました。アプライドマテリアルズCentura I P1リアクターには、プロセスの終点を正確に測定する低温エンドポイント検出器(LTEP)も装備されています。LTEPは、STIプロセスのプリセットの均一性を維持し、クリーンで反復可能で均一な結果をもたらします。このツールはまた、隣接するトランジスタノード間の寄生容量を低減する低k研磨機能を提供します。これは、より多くのスケーリングとパフォーマンスの向上を必要とするデバイス構造のための重要なプロセスです。また、ウェーハの積み降ろしを容易にする高度なウェーハ転送機構を備えています。ウェーハの垂直アライメントにより、プロセス中のウェーハのエッジをより正確に追跡でき、ウェーハから基板への再現性が向上します。Centura I P1リアクタは、低コストで高性能なSTIプロセスアプリケーションを必要とするお客様に最適です。低k研磨およびウェーハ転送機能により、歩留まりクリティカル、ストレス軽減、一貫して再現可能、およびSTI結果の均一化を必要とする人にとって、費用対効果が高く信頼性の高いツールです。
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