中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HT #9206303 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HTは、さまざまなII-VおよびIII-V材料に高いスループット処理能力を提供するように設計された完全自動化された原子炉装置です。AMAT Centura HTは、加工チャンバ、ベースユニット、真空チャンバー、ロードロック、コントローラなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。処理部屋はステンレス鋼から成り、高温基質の処理のために主に使用されます。ガスデリバリーシステム、発熱体、温度調節装置を備えています。プロセス結果を表示するための大きな窓と、流れや圧力を簡単に制御するためのガス管理機を備えています。ベースユニットには、コントローラや電源、各種ガス入口やコンセントなど、すべての電気部品が収納されています。また、真空チャンバーとロードロックへの接続も提供します。このユニットはグラフィックユーザーインターフェイスによって制御され、ユーザーは特定のプロセスに必要なパラメータを選択することができます。また、安全インターロックも含まれています。真空チャンバーは原子炉の上部にあり、絶縁チャンバーとして使用されます。それはステンレス鋼から成り、部屋に入ることからの大気汚染物を最小にする特別な設計があります。また、ガス管理ツールを備えており、チャンバー内の圧力を調節するための圧力レギュレータが含まれています。ロードロックは、ウェーハが配置されている原子炉のエントリポイントです。それはポリカーボネートから成り、プロセス部屋の汚染を防ぐためにしっかり止められたドアを提供します。ロードロックは、汚染を低減するために不活性ガス雰囲気が装備されています。コントローラは、資産全体を管理および管理する場所です。それは基礎単位の内にあり、炉の操作を担当します。グラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーはプロセスのさまざまなパラメータをプログラムして制御することができます。APPLIED MATERIALTS Centura HTは、高スループットII-VおよびIII-V材料処理のための効率的で信頼性の高いツールです。それは短時間で質の結果を保障するのを助ける機能の広い範囲が装備されています。その結果、この原子炉モデルは、研究および産業用の両方の用途に適しています。