中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura HDP #9249365 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDP（高密度プラズマ）原子炉は、高スループットで高い生産歩留まりを提供するように設計された完全なエッチングソリューションです。この先進原子炉は、III-V、シリコンゲルマニウム、グループIII-B金属およびその窒化物、およびその他の化合物材料などの幅広い材料を処理することができます。これは、エッチングサイクル全体の時間を短縮するために、最適化されたソースドレインエッチングプロセスで構成されています。AMAT Centura HDPには、より高いスイッチング周波数を持つDC RF電源と、エッチングの均一性を向上させるMC-Plasmaソースが装備されています。DC電源は、より高いエッチング速度とプロセスの均一性を実現するのにも役立ちます。さらに、APPLIED MATERIALTS Centura HDPは、精度の高いプラズマエッチングサイクルでより高い精度を達成することができます。MC-Plasmaの2周波数2相チューニング構成は、高い均一性を確保しながらエッチング時間を短縮するのに役立ちます。Centura HDPは、高精度のエッチング結果を得るために、プラズマ密度を調整し安定化するように設計された多周波プラズマ源を備えています。また、高度なクローズドループ水平ウェーハ搬送装置を提供し、高いプロセスの均一性を確保します。そのステンレス鋼の水晶部屋は部屋の表面を保護し、稼働時間を維持するのを助けます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura HDPはメンテナンス性が低く、信頼性が高いです。内蔵の計測ツールは、エッチングラインの微小粗さを測定し、可能な限り精密なエッチングを保証します。さらに、このシステムには、エッチング処理を完全に制御するための多数の処理レシピが含まれています。このユニットにはGUIベースのコントロールインターフェイスが付属しており、迅速なセットアップ、合理化された操作、およびクイックエッチングパラメータの変更のための簡素化されたバルブ制御を可能にします。全体として、AMAT Centura HDPは、高密度プラズマ源、多周波プラズマ源、クローズドループ水平ウェーハ搬送機、ステンレススチール石英チャンバーを備え、優れたプロセス能力を提供する高度なエッチング炉です。生産歩留まりを高め、エッチングサイクル全体の時間を短縮する信頼性の高いソリューションです。また、包括的なGUIベースの制御インターフェイスとプロセスを完全に制御できる処理レシピも付属しています。