中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epsilon / 0010-42572 #9199307 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epsilon/0010-42572は、窒化ガリウム（GaAs）やリン酸インジウム（InP）などの化合物半導体材料のUV処理を行うために設計されたシングルウェーハリアクターです。特許取得済みのデュアルステージ加熱システムにより、高い再現性で正確な温度制御を実現します。それは3つの紫外線源のための独立した多様体が装備されています；金属ハロゲン化物、ダイオードおよびレーザー。各ソースを個別に制御し、高収量の処理に最適化することができます。また、空冷高周波電源を採用し、低反射電力と高い電力安定性を実現しています。これは、ピロメーター制御、クローズドループ炉とプラットフォーム温度からなる温度制御構造を含んでいます。さらに、ウェーハ全体に均一な温度を確保するための低振動ウェーハプラットフォームと温度交換器を備えています。Centura Epsilonは非常に柔軟でユーザーフレンドリーです。幅広いウエハサイズに対応し、様々なUV加工用途にご利用いただけます。また、ユーザーが既存の処理環境に統合できる標準インターフェイスも備えています。さらに、ウェーハの自動ロードおよびアンロードには、オプションのロードポートを使用できます。全体として、AMAT Centura Epsilon/0010-42572は、化合物半導体材料のUV処理を行うために設計された先進的で高性能なシングルウェーハ炉です。精密な温度制御とチューニングに加えて、柔軟な制御パラメータを提供し、パワフルで反復可能なパフォーマンスを実現します。