中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #9153809 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epiは、高度な半導体デバイス向けに設計された高性能で低コストのエピタキシャルリアクターです。これは、高度な電解研磨誘電技術を使用して、超高周波およびパワーデバイスを製造するための費用対効果の高いソリューションをユーザーに提供します。AMAT Centura Epiは、GaAsおよびシリコンエピタキシャル蒸着プロセス、ならびに酸化物の蒸着および拡散アニーリングプロセスに使用できます。スプリットサセプター設計で、スプリットリングとスイベリングテーブル、複数のガス入口と出口ポートを備えています。これにより、ウェーハからウェーハへの酸化を行うための酸素濃縮オプションを使用して、複数のプロセスを独立して動作させることができます。APPLIED MATERIALTS Centura Epiは、高速誘電機能とデュアルマグネトロンヘッドを備え、層の構造を効率的に堆積させることができるように設計されています。高解像度シャッターアセンブリを備えており、堆積パラメータを正確に制御できます。また、空冷および水冷電極、およびプロセス要件に対応する幅広いチャンバーおよびコイル部品を備えています。Centura Epiリアクターは、均一な膜厚を確保するための低周波加熱率を備えた非常に安定したシステムです。コンパクトな設計で狭いスペースに収まる一方、高度な真空制御によりプロセス条件を最適化できます。また、高精度抵抗温度検出器を備えた高精度温度制御を備えています。システムは長期にわたって安定しており、幅広い加工条件で動作することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epi原子炉はまた、非常に正確な結果を得るために複雑な構造のプロセス回復とその場での堆積が可能です。優れた製品性能と環境信頼性を提供するように設計されており、高度な半導体デバイスの生産に最適です。このシステムは、重要なパラメータを正確に制御するために設計されており、最先端の半導体プロセスにおいて比類のない性能を提供します。