中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Epi #293621413 を販売中
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販売された
ID: 293621413
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2004
System, 6"-8"
(3) ATM Epi Chambers
Flow point: Nano valve
Gas panel
M-Monitor: CRT
SIEMENS PLC with Digital flow control with interlock and passphrase
CB1 Amps: 300 A
HDD upgraded to RAID
V452 SBC Board
Serial isolator
(2) Leak detect / System reset
OTF / Centre find
Chamber A, B, C: Interlock
M/F Interlock
Loadlock Interlock
Chamber A, B, C
DI / O1
DI / O2
Chamber D: DI / O2
Chamber E: DI / O0
SBC
Video
I/O Expansion
SEI
Chamber A, B, C, D: AIO
Mainframe AI01
CH E / MF AI02
Mainframe: DI01, DI02, DI03, DI04, DI05, DI06
Mainframe Stepper 1
Robot and indexer stepper: VX2
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epiは、半導体装置の製造に使用するために特別に設計された原子炉です。この原子炉は、薄膜を堆積し、集積回路などの多層デバイスを作成するための主要な方法である蒸着およびエピタキシャル処理を行うことができます。高いスループット、高温、および高い均一性を備えたAMAT Centura Epiリアクターは、高度な半導体技術を開発するための最も強力なツールの1つです。APPLIED MATERIALTS Centura Epiリアクターは、高度なプロセス技術を活用し、統合されたハードウェアとソフトウェア環境を備えた堅牢で信頼性の高い機器であるために開発されました。高精度の動き、高度な熱および電気制御、そして強力で使いやすいソフトウェアベースのインターフェースを備えています。Centura Epiリアクターの主なコンポーネントには、電子発光基板ホルダー、製品制御およびクリーナー生産用のバッフルおよびガス噴射システム、ガスふるい界効果デバイスおよび制御ユニット、直流蒸発源、および電気磁気および表面波発生装置があります。基板ホルダーには様々な電子機器が取り付けられており、均一な温度プロファイルを維持することができます。これにより、熱変動を最小限に抑え、薄膜やエピタキシャル層の均一な成長を実現します。バッフルとガス注入機は製品制御機能をサポートしており、ユーザーは所定のパラメータ内の環境を正確に制御および維持することができます。ガスふるいをかける電界効果装置は、異物や不要物質の侵入を防ぐことにより、ガス汚染を低減し、高効率の製品制御を可能にします。直流蒸発源は、あらゆるソースからの材料の非常に均一で高速な蒸発を提供し、高品質の成長と堆積を保証します。最後に、電磁波および表面波ジェネレータは、広範囲の循環および静的コンポーネントとの互換性を提供し、出力を害や損傷からさらに保護します。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Epiツールは、高度で効率的で信頼性の高い原子炉であり、集積回路やその他の半導体デバイスの生産に高スループットで均一な成長環境を提供します。ハードウェアとソフトウェアが統合された環境で設計されており、さまざまな高度な機能が含まれているため、ユーザーは環境を正確に制御し、高品質な結果を出すことができます。
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