中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2 #9281495 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2は、高度なデバイス製造のための市場をリードする高密度プラズマ酸化エッチング炉です。高いスループット、プロセスの均一性、コンタミネーション制御を実現し、優れたデバイス性能と信頼性を実現します。具体的には、Enabler E2は誘導結合プラズマ（ICP）エッチングリアクターであり、独自の設計により、高密度の均一なプラズマを生成してフィーチャー形状の深部にエッチングすることができます。また、アスペクト比の高い機能をエッチングするために必要な高密度プラズマを供給できる独自のエッチングチャンバーを内蔵しており、極小・複雑な構造の製作に適しています。このチャンバーには、最大4つの電磁駆動反応ガス源が装備されており、ユーザーはあらゆるアプリケーションのプロセスを微調整することができます。AMAT CENTURA ENABLER E2には、粒子や汚染レベルを最小限に抑えるクローズドロックシステムも搭載されています。高速で自動化された正確なウェーハローディングとチャックのメンテナンスプロセスを提供し、スループットを最大化します。これにより、汚染レベルを最小限に抑えることができ、信頼性の高いプロセスと歩留まり率の向上を可能にします。Enabler E2は、カスタマイズ性と柔軟性に優れたユニットで、室温から摂氏200度までの温度で直径200mmまでのウェーハを処理できます。これにより、酸化物エッチング、CMP、蒸着などの高度なデバイス製造プロセスに適しています。要するに、APPLIED MATERIALTS CENTURA ENABLER_E2は、先進的なデバイス製造のための業界をリードする高密度プラズマ酸化エッチング炉です。高密度の均一なプラズマ設計、カスタマイズ可能なエッチングチャンバー、および汚染制御用のクローズドロックツールを備えており、さまざまなサイズと温度を安全かつ正確に処理できます。Enabler E2は、特徴形状の深部にエッチングし、粒子や汚染レベルを最小限に抑える機能を備えており、優れたデバイス性能、信頼性、歩留まり率を提供します。