中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2 #9235111 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER E2は、次世代のマルチチャンバードライエッチング炉です。これは、高度なデバイス構造のコスト効率の高い生産に最適であり、MEMS、 RF、パワー半導体、および高度なパッケージングアプリケーションに適しています。AMAT CENTURA ENABLER E2は、単一の小型機器で高スループットのRFプラズマエッチング、ディープエッチング、および飛行時間エッチング機能を提供できるモジュール設計を備えています。独立に制御された2つのソースチャンバーと1つのプラズマチャンバーを備えています。チャンバーは、異なる材料や構造を処理するために最適に構成することができます。ソースチャンバーは独立した電源制御によるRF励起を備えており、誘電体とエッチングが困難な材料の大面積エッチングを可能にします。RF力は20kHzまでの500Wのステップで調節可能直径の6インチより大きい区域に適用することができます。ソースチャンバーには、ウェーハロケーションマッピングやガンマ線アシストウェーハローディングなどの便利な機能もあり、レシピ転送と精密なエッチング制御が向上します。このプラズマチャンバーは、反応性と不活性ガス化学を備えたディープエッチングを提供し、簡単な地形と特徴最適化を可能にします。エッチング速度は0。5から500nm/minの間で調節可能で、部屋はまた1000°C。までの基質の温度調整を支えます。このチャンバーには、誘導電流と電子サイクロトロン共鳴励起モードの両方と、最適な空間電流分布のための高度な誘導コイルが含まれています。応用材料CENTURA ENABLER_E2には、高速汚染回復システムを備えた内蔵のポンプダウンロードロックが含まれています。ロードロックは、ウェーハローディング間の超低真空を維持し、ローディングとアンロード時間を短縮します。さらに、ロードロックにはアクティブ冷却ベーキユニットが含まれており、品質を損なうことなく短時間のベーキングタイムを可能にします。全体として、AMAT CENTURA ENABLER_E2は、1台のコンパクトなマシンでさまざまな生産プロセスを可能にする高度なマルチチャンバーエッチングリアクターです。高性能エッチング機能を備え、MEMS、 RF、パワー半導体、および高度なパッケージング技術の製造に最適です。このツールの信頼性の高いパフォーマンスと費用対効果により、多くのアプリケーションで信頼性の高い選択肢となります。