中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax #9255699 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMaxは、銅を含む薄膜の物理蒸着（PVD）および化学蒸着（CVD）のための高度な蒸着装置です。AMAT Centura eMaxリアクターは、集積回路（IC）、薄膜光学デバイス、磁気センサ、MEMSコンポーネント、およびその他の高度な薄膜構造の大量製造用に設計されています。eMaxリアクタは、堅牢で信頼性の高い設計、高い生産性、およびメンテナンスコストの低い改善されたウェーハツーウェーハハンドリングを備えています。アプライドマテリアルズCentura eMaxは、金属薄膜の成膜用に設計されたマルチターゲットスパッタリングシステムを自動化しています。これは、今日市場で入手可能な最も先進的で効率的な薄膜プロセスツールです。高いスパッタ率（最大70 ㎡/min）、高い均一性、および低い運用コストにより、eMaxは高品質のマイクロエレクトロニクスの生産に最適です。このユニットは、さまざまなスパッタリングターゲットで構成可能であり、銅、アルミニウム、チタン、タングステンなどのスパッタ材料を使用できます。Centura eMaxのプロセス制御マシンは、クローズドループの自動設計に基づいています。このツールは、インプロセス制御アセットを使用して、成膜プロセスを監視し、各ウェハが適切な層の厚さ、均一性、および構造の整合性を確保します。蒸着プロセスは、実行時の均一性を向上させるために構成することができます。このモデルは、診断テストを実行し、ツールのパフォーマンスを監視する機能も備えています。この装置は、従来のシングルターゲットPVDチャンバよりも優れた蒸着品質とスループットを提供できます。eMaxは0。033mmの薄いケイ素またはガリウムのヒ素の基質を含む多様な基質を、処理できます。ロードロックを備えたダブルバキュームチャンバー、ウェーハハンドリングロボット、ガスデリバリーユニット、各種ターゲット材料を備えています。この機械は、銅の蒸着プロセスなどの新しいプロセスオプションにも適応できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMaxは、さまざまな用途に対応できる汎用性の高い薄膜成膜ツールです。高いスループットと自動化された操作により、複雑な薄膜デバイスの量産に最適なツールです。モジュラー設計により、特定のプロセスのカスタマイズが可能になり、さまざまなプロセス条件の自動シーケンスを簡単にプログラムできます。この汎用性とウェーハ間の取り扱いの向上により、eMaxリアクタは集積回路やその他の先進的な薄膜デバイスの大量生産に最適です。