中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax #9139787 を販売中

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ID: 9139787
Dry etcher I Phase II Body MEMS line : 8” 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMaxは、半導体の超薄型層基板を高品質に処理するために設計された高性能リアクタです。AMAT Centura eMaxは、堆積薄膜層の製造および特性評価において最高レベルの均一性と性能を確保するための高度な設計機能を備えています。APPLIED MATERIALTS Centura eMaxは、高真空環境で動作し、複数の半導体基板をシステムに安全かつ効率的にロードするためのPC制御ロボットアームのローディングメカニズムを利用しています。このシステムは、基板の動き、ガスの流れ、および選択されたプロセス温度を制御します。このロボットの機能は、繊細なウエハーの最も信頼性の高い取り扱いを提供し、基板への材料の成膜を成功させるための正確な配置を可能にします。Centura eMaxには、いくつかの高度なプロセスも含まれています。これは、リモートプラズマ強化原子層成膜プロセス(ALE堆積)で構成することができ、また、化学蒸着(CVD)のような他の技術と互換性があります。ALE堆積は、従来の堆積プロセスと比較して、均一性、再現性、パフォーマンスの向上を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALTS Centura eMaxは、単純な金属酸化物層から100以上のアングストローム複数層を必要とする複雑な基板まで、さまざまなフィルムスタックで基板処理を専門的に行うことができます。AMAT Centura eMaxの本質的に安全な設計には、オペレータの介入を最小限に抑えるオートメーション機能が組み込まれており、堆積物の高い再現性と精度を提供します。高度なモニタリング、プロセス制御、データ収集機能と組み合わせた効率的なレイアウトにより、ダウンタイムを削減し、運用効率を向上させます。チャンバーはメンテナンス、検査、汚染の防止を容易にするように設計されており、統合された安全機能により、APPLIED MATERIALTS Centura eMaxは非常にユーザーフレンドリーです。Centura eMaxは、効率的で信頼性の高い基板処理用の堅牢で高性能な原子炉です。その高度な設計機能は、超薄型層基板の製造と特性評価において最高レベルの均一性と精度を必要とするアプリケーションに最適です。最先端かつ最高品質の半導体基板のために、AMAT/APPLIED MATERIALTS Centura eMaxは理想的なシステムです。
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