中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9384969 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+は、半導体デバイス製造の厳しい要件を満たすように特別に設計された高度な化学蒸着（CVD）炉です。この高性能ツールは、クラス最高の技術と最先端のエンジニアリングのユニークな組み合わせを利用して、優れた均一性、正確性、再現性を提供します。CT+は、特定のフットプリント内で最高レベルのパフォーマンスを可能にするコンパクトで合理化された設計を含む多くの機能を誇っています。さらに、CT+は最適な堆積レシピを作成し維持するための精度調整を行います。AMAT Centura eMax CT+は、高性能で低温のプラズマ源を利用した高度なラボスケールのCVD炉システムです。この原子炉は、1つの基板上に統合されたマイクロ/ナノ構造の複数の層を製造することができます。CT+は、加熱基板と基板箔のための統合炉システムと、原子層成膜のための独立したエッチングチャンバーを備えています。このツールの堅牢な設計により、200°C〜1150°Cの温度で幅広いプロセスを容易にすることができます。CT+は、フェーズドロックループ（PLL）周波数制御、組み込みプログラマブルロジック、デジタルネットワーク制御、DCバイアス制御など、さまざまな先進技術の恩恵を受けています。これらの独自の機能により、プロセスパラメータの高精度と再現性を実現します。さらに、CT+はガスマニホールドとディスペンスシステムを提供し、安定した再現可能なガス供給を実現します。CT+の設計により、ユーザーはチャンバー構成を素早く簡単に変更または変更することができます。結論として、APPLIED MATERIALTS CENTURA E-MAX CT+は、半導体デバイス製造用に特別に設計された先進的で高性能なCVDリアクタです。独自の技術と優れた設計の組み合わせにより、すべての成膜およびエッチング工程で優れた均一性、精度、再現性を実現します。CT+の小さなフットプリントにより、スペースを最大限に活用する必要のあるラボに最適です。