中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9352627 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+Reactorは、集積回路やその他の高度な電子デバイスを製造するための高性能、高度なエッチングおよび成膜ツールです。このツールは、標準のクラスタツールと統合されたMaxJET™ IIXE Beam Element Technology （BET）ソースを組み合わせて、高度なエッチングと蒸着プロセスを提供します。原子炉は、材料を正確に堆積またはエッチングするために半導体製造に使用されます。MaxJET™ IIXE BETソースを使用してウェーハに材料を供給し、その後、コンピュータ制御の高速ジェットストリームによって蒸着またはエッチングチャンバーから駆動されます。ジェットストリームは、材料を基板に正確かつ均一に輸送します。eMax CT+は、プロセスデジタル磁気平面制御（MPC）装置を使用してエッチングパラメータを正確に制御します。このシステムは、エッチングプロセスを完全に制御し、最高レベルの精度と再現性を実現します。eMax CT+には、ソースアライメント、ホットパンチ、ポートニングなどの高度な機能、ウェーハ配置用のビジョンユニット、安全なデータ転送、自動化されたプロセス最適化などの標準クラスタツールが含まれています。クラスタツールは反復可能で堅牢な処理を保証し、目視検査はより高い歩留まりとスループットを提供します。さらに、原子炉には、精度と性能を確保するために、さまざまな測定および制御システムが装備されています。これには、チャンバー圧力、ガス流量、温度、表面トポロジー、ガス組成などのプロセスパラメータを監視し、最適な動作を保証する光学診断機が含まれます。AMAT Centura eMax CT+Reactorは、集積回路やその他の半導体デバイス上で高度で正確な機能を生産するための信頼性の高い高性能ツールです。統合されたMaxJET™ IIXE BETツール、プロセスデジタルMPCアセット、およびさまざまな測定および制御システムを使用して、精密で再現可能なエッチングおよび沈殿プロセスを保証します。この原子炉は、集積回路、電子デバイス、およびその他の高度なデバイスの製造に最適です。