中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9293616 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+Reactorは、CVD （Chemical Vapor Deposition）を使用して半導体ウェーハをエッチングするためのウェーハ製造システムです。原子炉は小型でモジュール式の設計で、クリーンルーム環境に適しており、あらゆる種類の材料をエッチングすることができます。AMAT Centura eMax CT+は、高い精度と制御を提供し、材料を原子レベルまで正確にエッチングすることができます。蒸着チャンバー、リアクタント搬送モジュール、ロボットアームを備えています。蒸着チャンバーはウェーハを収納し、ロボットアームはエッチングされた状態でウェーハを連続動作させるために使用されます。リアクタント搬送モジュールは、蒸着室にリアクタントを導入することができる場所です。リアクタントは一般にシラン、アンモニア、アセチレンなどのガスであり、導入速度はマスフローコントローラ（MFC）によって制御されている。MFCは、反応剤が安全かつ偶数の速度でチャンバーに導入されることを保証し、不要な反応が起こるのを防ぎます。蒸着チャンバには、プラズマ強化CVDプロセスを実施するための特別に設計された電極アセンブリもあります。このアセンブリは、原子炉本体に接続されているより低い電極と、プラズマの生成を担う垂直回転プラズマジェットで構成されています。プラズマジェットは、反応物質がより小さな分子に分解され、ウェーハの表面に堆積することを保証します。APPLIED MATERIALTS CENTURA E-MAX CT+は、高い精度と制御性を備えた水平回転エッチングチャンバーを介してウェーハを迅速にエッチングできます。チャンバーは上下のプラテンで構成され、ウェーハは2つの間に配置されます。上部のプラテンは、下側のプラテンが独立して制御されているため、所望のエッチングパターンを達成することができます。加えて、APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+は、より大規模な生産作業のために複数の原子炉を並列に動作させることができます。各原子炉は同じ電源と共有リソースに接続され、処理速度と効率が向上します。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+リアクターは幅広い機能を備えており、ほとんどの材料を精度と精度でエッチングすることができます。高性能な半導体ウェーハの製造に最適です。