中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9286890 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+は、標準化され、高速で信頼性の高いさまざまな成膜スキーム用に設計されたマルチツール成膜システムです。On-The-Flyチャンバーのパーソナリティスイッチング技術を搭載したこのリアクターは、最も要求の厳しいアプリケーションに真の柔軟性を提供します。複数のモジュラー設計により、ユーザーフレンドリーな構成とオプションが可能です。このデバイスは、最大8インチのウェーハサイズと、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、原子層蒸着（ALD）などの複数の蒸着プロセス用に設計されています。また、オンザフライプロセスワールドスイッチングを備えているため、たとえばCVDからALDに切り替える場合でも、プロセスシーケンスを中断する必要はありません。これは時間、エネルギー、資源を節約します。AMAT Centura eMax CT+には、汎用性の高いデュアルゾーンチャンバーと、最大3つの前駆体と2つのマスフローコントローラに対応できる5つのソースポートが付属しています。統合されたロードロックシステムと自動化された保護システムは、プロセスと基板を汚染、急速な温暖化および冷却、ならびにガス供給精度から保護します。統一されたユーザーインターフェイスと高精度のモーションコントロールは、短い学習曲線に匹敵し、シンプルなユーザーエクスペリエンスと一貫した結果を提供します。APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+はまた、多数のプロセス条件や基板を迅速かつ確実に処理できる柔軟な操作性を提供する、高スループットの複数の構成設計を備えています。また、低真空と高真空の両方のオプション、PVDモジュール用の2つの独立した平面マグネトロン、および温度プロファイリング用のウェハマッピング機能など、複数のチャンバと専門オプションを提供しています。応用材料Centura eMax CT+は、利用可能な最も先進的な原子炉ツールの1つであり、最大限の柔軟性と精度を提供します。薄膜太陽電池やMEMSデバイスから薄膜ドライブまで、幅広い用途に適した多彩なプロセス機能を提供します。Centura eMax CT+は、独自のOn-The-Flyチャンバリティ・スイッチング技術により、あらゆる半導体、MEMS、エレクトロニクス・アプリケーションに最適です。