中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #9195718 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+は、化学蒸着（CVD）アプリケーションで優れた結果を得るために特別に設計された高性能リアクタです。このリアクタは、高出力プラットフォーム、効率的な設計、および高度な機能により、パフォーマンスとスループットを最大化し、ウェーハあたりのコストを削減します。AMAT Centura eMax CT+は、高精度の非接触光エンコーダを備えた高精度デュアルリニアDCモータを中心に設計されており、モータはプロセスゾーン内で基板を正確に配置できます。このモータは、2相インダクティブ自動制御とともに、滑らかで反復可能で信頼性の高いプロセスをもたらします。この原子炉の電源装置は、最大24kWの可変出力を持つ外部制御の高周波AC電源であり、特定のアプリケーションに最適なエネルギー効率を実現します。応用材料CENTURA E-MAX CT+は、CVDプロセス中に信頼性の高いパフォーマンスを保証するために、幅広い高度な機能を備えています。これには、プロセス環境を制御するための高度な圧力安全システム、沈着時の熱損失を最小限に抑えるための統合された石英冷壁熱管理ユニット、およびソース・ガスの一貫した再現可能な温度を確保するための化学源温度管理マシンが含まれます。さらに、CENTURA E-MAX CT+は、直接接触熱電対と熱電クーラー熱電対を介してプロセスゾーン温度を監視および制御することができ、均質で一貫した結果を保証します。また、リアルタイム監視ツールを備えており、安全な動作を確保し、サンプルの完全性を損なう可能性を制限します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+は、優れたCVD処理結果を提供できる高度で高性能な原子炉です。AMAT CENTURA E-MAX CT+は、効率的な設計、精密モータ、強力なAC電源、および高度な機能の組み合わせにより、高度な化学蒸着アプリケーションに最適です。