中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #293633129 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+は、先進的な半導体工学のために設計された次世代プラズマエッチング炉です。この革新的なソリューションは、優れたプロセス歩留まりと再現性に優れたパフォーマンスを提供するために設計されています。eMax CT+リアクターは、実績のある高効率の誘導結合プラズマ（ICP）技術と革新的な検出器と操作性の向上を組み合わせた独自の特許取得済みの設計を備えており、最先端のプロセス制御を可能にします。この強力な機能を組み合わせることで、eMax CT+は高信頼性で効率的なナノ加工ツールとなります。eMax CT+リアクタは、エッチングチャンバー内の両方のウェーハに正確なアライメントを提供する高度なウェーハ指向装置を備えています。これにより、非常に小さな機能サイズの高解像度パターンを作成できます。eMax CT+はまた、ユニット内のガス圧力の調整を可能にする可変チャンバ圧力システムを組み込み、正確で再現性のあるプロセス結果を保証します。リアクターはまた、リアルタイムでプロセスの監視と最適化を可能にする急速応答水晶モニターを使用しています。eMax CT+は、プロセスパラメータを最適化し、プロセスレシピの迅速かつ反復的な探索を可能にするために、体積調整を備えた先進的なガス供給機を備えています。この原子炉はまた、高度なレシピ管理ソフトウェアを使用して、プロセスパラメータの動的な変更を可能にしています。eMax CT+リアクターは、生産性を最大限に高めるために、マルチカセットローディング機能と低負荷レベルの監視および制御機能も備えています。eMax CT+には、慎重に最適化された液冷システムと可変速度ファンを組み込んだ高度な冷却ツールが搭載されており、信頼性と安定したプロセス安定性を提供します。強力な冷却アセットにより、チャンバ内のより効果的で正確な温度制御が可能になり、エッチングチャンバ内のより正確で再現性の高いプロセスが可能になります。eMax CT+リアクターは、タングステン、チタン、アルミニウム、窒化チタンなどの幅広い基板材料を扱うことができる非常に汎用性の高いツールであるように設計されており、幅広いプロセスアプリケーションを可能にします。最大処理速度600nm/minの6インチウエハ基板に対応し、先進的な半導体エンジニアリングに最適な性能を発揮します。
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