中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+ #293624199 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura eMax CT+は、均一で反復可能な結果を低コストで提供できる高スループット炉です。それは高温フィルム、酸化物、窒化物、ニトロシルおよびポリマーの沈殿の性能のために設計されています。リアクターは、構成に応じて2-5プロセスポケットで構成されており、二次プロセス用のフォーカスイオンビーム（FIB）ソースと電子ビームガンが付属しています。AMAT Centura eMax CT+は、高度な熱注入源で製造されています。ウエハ間の再現性に優れ、大型ウエハサイズ以上のフィルムの均一な成膜を実現します。eMax CT+は、可変真空圧力と温度設定も可能であり、フィルムの蒸着速度、厚さ、およびストイチオメトリーを正確に制御することができます。このプロセス制御は、原子炉に標準装備されているユニバーサルプロセスモジュールでさらに最適化することができます。アプライドマテリアルズCENTURA E-MAX CT+は、高出力のFIBソースを内蔵し、顕微鏡下の材料表面を正確に操作します。このソースにより、高度なパターン処理を高精度で行うことができます。さらに、電子ビームガンは、フィルムプロセスのナノスケール制御を可能にします。原子炉の高度な技術は、生産レベルの処理における多数の基板の迅速な処理に使用できます。均一で再現性のあるハイスループットウェーハ加工が可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA E-MAX CT+は、信頼性の高いウェーハ品質、最適な再現性と信頼性、プロセス全体にわたって低コストの所有コストを提供するために構築されています。