中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9230376 を販売中
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販売された
ID: 9230376
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
CVD System, 8"
(3) Chambers: DxZ
Chamber A:
Manometer: 100/2
Heater: AL
Clean method: AE 2000-2V
Pressure method: Direct drive throttle valve
Chamber B:
Manometer:100/2
Heater: AL
Clean method: AE 2000-2V
Pressure method: Direct drive throttle valve
Chamber D:
Manometer:100/2
Heater: AL
Clean method: AE 2000-2V
Pressure method: Direct drive throttle valve
1st Monitor: Through the wall
2nd Monitor: Stand alone
Narrow body loadlock
HP Robot
OTF
Valves: Unit MFCs
Filters: MILIPORE
Regulators: VERIFLO
System cabinet exhaust: Top
Single line drop
Gas pallet configuration:
Chamber A / Size / Model
SiH4 / 500 sccm / Stec MFCs
NH3 / 200 sccm / Unit MFCs
NF3 / 1 Slm / Unit MFCs
N2O / 500 sccm / Unit MFCs
N2 / 5 Slm / Unit MFCs
Chamber B / Size / Model
SiH4 / 500 sccm / Stec MFCs
NH3 / 200 sccm / Unit MFCs
NF3 / 2 Slm / Unit MFCs
N2O / 500 sccm / Unit MFCs
N2 / 5 Slm / Unit MFCs
Chamber D / Size / Model
SiH4 / 500 sccm / Stec MFCs
NH3 / 200 sccm / Unit MFCs
NF3 / 1 Slm / Unit MFCs
N2O / 500 sccm / Unit MFCs
N2 / 5 Slm / Unit MFCs
Process: Nitride deposition (Nit. Pass.)
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactorは生産レベルのバッチ炉であり、様々な用途で高性能な材料を生産することができます。DxZリアクターは、プラズマ強化化学蒸着（PE-CVD）の製造用に独自に設計されています。DxZリアクターは、ターンテーブルベースと4セグメントマルチターゲットプラズマで設計されています。これにより、窒化物、酸化物、ダイヤモンドのような炭素（DLC）、特定の用途に合わせたシリコンベースの化合物など、さまざまな材料を合成することができます。ターンテーブルは、異なるターゲット間の切り替えにも使用され、耐摩耗性マルチセグメントターゲットを可能にします。運転では、DxZリアクターは3段階のプロセスを使用します。最初の段階はガス導入であり、そこではガスがチャンバーに入り、合成のために適切に混合されます。第2段階では、パルスプラズマを生成し、プロセスにマッチした電力を供給する電源システムによって維持されます。最後に、第3段階では、基板をチャンバー内に置き、高周波電界と気体の混合から形成された反応種を基板上に堆積させて材料を形成します。DxZリアクターには、信頼性の高い動作を保証する複数の安全機能があります。これらには、ガスインレットユニット用の安全インターロックと圧力センサー、調整可能なタイマーを備えたガス排気機、高効率の粒子および有害ガスろ過が含まれます。その設計と機能のおかげで、Corning AMAT Centura DxZリアクターは、高品質で高性能な材料を生産するための優れたツールです。その堅牢な設計、安全機能、および複数の基板材料は、商業、産業、研究用途に最適です。
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