中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9184346 を販売中

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フォト（写真） 使用される AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ 販売のために
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販売された
リアクター
製造業者
AMAT / APPLIED MATERIALS
モデル
Centura DxZ
ID: 9184346
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
CVD System, 8" Mainframe information: Phase 2 Robot type: HP LoadLock type: NBLL SMIF: X Process chambers: Chamber A Chamber B Chamber C Chamber D Cooldown chamber: Chamber E: MSCD Orient chamber: Chamber F: X (4) Process chambers Process: CVD Application: DXZ System controller: UPS Generator: Chamber A: RFG 2000-2V Chamber B: RFG 2000-2V Chamber C: RFG 2000-2V Chamber D: RFG 2000-2V Bottom module: Chamber A: 0090-01805 Chamber B: 0090-01805 Chamber C: 0090-01805 Chamber D: 0090-01805 Heater lift: Chamber A: 0010-38426 Chamber B: 0010-38426 Chamber C: 0010-38426 Chamber D: 0010-38426 Baratron: Model Torr Chamber A 626A11TBE 10Torr Chamber B 626A11TBE 10Torr Chamber C 626A11TBE 10Torr Chamber D 626A11TBE 10Torr Baratron: Model Torr Chamber A 122BA-00100EBS 100Torr Chamber B 122BA-00100EBS 100Torr Chamber C 122BA-00100EBS 100Torr Chamber D 122BA-00100EBS 100Torr Gas control : SERIFLEX TYPE Gas panel: Chamber A: LINE1 SiH4 500sccm UNE2 NH3 500sccm LINE3 N2 5SLM LINE4 SiH4 200sccm LINE7 H2 5SLM LINE8 N20 1SLM LINE9 CF4 3 SIM SIDE N20 500sccm Chamber B: LINE1 X LINE2 NH3 500sccm LINE3 N2 5SLM LINE4 SiH4 200sccm LINE7 H2 7SLM LINE8 N20 1SLM LINE9 CF4 3 SLM SIDE N20 500sccm Chamber C: LINE1 X LINE2 NH3 500sccm LINE3 N2 5SLM LINE4 SiH4 300sccm LINE7 H2 7SLM LINE8 N20 1SLM LINE9 CF4 3SLM SIDE N20 500sccm Chamber D: LINE1 N20 3SLM LINE2 NH3 500sccm LINE3 N2 5SLM LINE4 SiH4 300sccm LINE7 H2 7SLM LINE8 N20 1SLM LINE9 CF4 3 SIM SIDE N20 500sccm Packing list: Mainframe AC Remote rack Generator rack (2) Part boxes Power: 208VAC 1997 vintage.
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZは、高度な材料工学とプロセス能力を備えた適切に設計され、設計された原子炉です。この原子炉は、蒸着、エッチング、熱アニーリングなどのさまざまなプロセスに使用でき、さまざまな用途の要件を満たすように特別に設計されています。AMAT Centura DxZリアクターは、高いプロセススループットと再現性を実現する効率的で安定した設計を備えています。これは、高い安定性と正確性、高品質で耐久性のある部品、およびお客様のニーズに合わせた堅牢で柔軟なチャンバー設計によって実現されます。これにより、アプライドマテリアルズのCentura DxZ炉は、高いプロセス結果が要求される多くの業界にとって好ましい選択肢となります。Centura DxZリアクターには、高再現性と低温ベーキングを可能にする高度な真空チャンバーが装備されています。このチャンバーは、コーティングやマスキングからエッチングまたは成膜まで、さまざまな特定のユースケースに設定できます。この多様なプロセスにより、より広範な基板組成と温度が可能になり、多数の用途に使用できるようになり、複数の原子炉が不要になります。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZには、原子炉と連携して最大限の精度、再現性、スループットを確保すると同時に、ユーザーの介入を削減する自動適応制御システムも搭載されています。このシステムはまた、スクラップを削減し、サイクルタイムを改善するのに役立ちます。AMAT Centura DxZのウェーハの位置決めも、オートセンタリングとクランプ機構のおかげで簡単になり、手助けなしで精密な配置とアライメントが可能になります。さらに、リアクターには、プロセス中にリアルタイムの温度制御を提供する温度均一度センサーが装備されており、プロセス全体の間に均質な温度を確保します。全体として、APPLIED MATERIALTS Centura DxZリアクターは、柔軟性と信頼性を考慮して設計されており、さまざまなアプリケーションで厳しいプロセス要件を満たすことができます。この原子炉は精密制御され、効率的で耐久性があり、サイクル時間を大幅に短縮し、出力を増加させる一方で、複数の原子炉と手動介入の必要性を減らすことができます。
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