中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9183987 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactorは、最新の半導体技術のニーズに応えるために設計された高性能、多目的機器です。高度なデバイス製造および加工技術に最高レベルの性能と信頼性を提供します。システムは高度なプラットフォーム上に構築されており、より良いプロセス制御と高精度を可能にします。大型基板に対応し、イオン注入、ウェットエッチング、ドライエッチング、成膜など、さまざまなツールセットを備えています。また、エンジニアや研究者がパフォーマンスを最適化するのに役立つフィードバックを提供する高度なユーザーインターフェイスも提供しています。AMAT Centura DxZリアクターには、モジュラートラックを介してリンクされている複数の独立したプロセスチャンバーがあります。これにより、並列処理が可能になり、サイクル時間が短縮され、スループットが向上します。選択可能なガスの流れなど、機械の構成可能なコンポーネントは、カスタマイズ可能なプロセスとレシピを可能にします。このツールは、基板に適用するために最大5キロワットの電力を生成することができ、オンボードRF/DCジェネレータを備えています。この高出力能力により、先進的な材料およびデバイス処理が可能になります。DxZには、チャンバ温度を調整し、最適なプロセス性能を得るための最適な条件を確保するアクティブ温度制御アセットも含まれています。このモデルはまた、プロセスチャンバーの圧力を調節するオンボード真空装置を備えています。これにより、クリーンで欠陥の少ない生産環境を確保しながら、優れた真空均一性を提供します。真空システムにはオンボードイオンビームもあり、これを使用してチャンバーの内部を処理サイクル間で清掃することができます。また、プロセスガスの流れを正確に制御・監視する高性能ガスコントロールマシンを搭載しています。これにより、プロセスの精度とスループットが向上します。このツールは、さまざまな監視および診断ツールと統合することもでき、プロセスに関するリアルタイムのフィードバックを提供します。結論として、Applied Materials APPLIED MATERIALTS Centura DxZ Reactorは、高度なデバイス製造および加工技術に適した堅牢で信頼性の高い多目的資産です。優れた生産結果とスループットに比類のない性能、精度、信頼性を提供します。