中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9174370 を販売中

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ID: 9174370
CVD TEOS System.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZリアクターは、半導体材料の製造に使用される低温蒸着装置です。AMAT、 Inc。のこのモデル分子ビームエピタキシー(MBE)ツールのCenturaシリーズは、大量の半導体基板の高収率、自動処理を提供するように設計されています。AMAT Centura DxZは、効率的で自動処理のために設計され、さまざまな材料をサポートすることができます。水晶やシリコンを含む最大4つの材料源を使用し、直径250mmまでの基板容量を備えています。これには、温度や圧力などのプロセスパラメータを監視および制御するためのさまざまな組込みソフトウェアを備えたプログラマブルエレクトロニクスシステムが含まれています。マルチゾーン基板ヒーターアレイは、反復可能な温度プロファイルを提供し、ピエゾ制御ガスジェットは、反応ガスの流れを正確に制御することができます。また、加工中の基板の温度を監視する赤外線源も備えています。APPLIED MATERIALTS Centura DxZは、高精度で均一で反復可能なエピタキシャル処理の要求に応えるように設計されています。その主な機能には、高精度、自動化されたプロセス制御、および低真空環境が含まれます。その堅牢な設計は、汚染から保護し、スループットを最大化するのにも役立ちます。高度なソフトウェアと組み込みアルゴリズムを備えたCentura DxZは、望ましい範囲の温度と圧力を維持することができます。このマシンには、完全な工具監視機能が含まれており、基板が適切に処理され、すべてのプロセスパラメータが仕様内に残ることを保証します。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZは、MBE蒸着のための信頼性と生産性の高いツールです。その汎用性の高い構成と適切に規制された環境は、高度な半導体材料の開発者に人気のある選択肢です。その一貫性、効率性、再現性は、最高品質の堆積物を達成するための費用対効果の高いソリューションを提供します。
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