中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9162773 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZは、集積回路の製造に使用されるように設計された先進的なエッチング/反応イオンエッチング（RIE）炉です。DxZはエッチング、洗浄、イオン注入、基板の熱処理が可能です。プロセス部屋は耐食性のためのステンレス鋼から成り、基質の処理のための統合された陰極および陽極および精密なエッチングのための自動調整システムがあります。DxZには、ガス流量モニターや複数の選択ノズルを備えたガスキャビネットなど、最新のガス制御技術が搭載されています。この原子炉は、エッチング速度と品質を最大化するための深いトラップ構成と、質量流均一性を最適化する2つのガスマニホールドを備えています。インターロックと安全機能により、動作を停止または再起動したときに適切な手順が保証され、自動チューニングシステムは動作中に正確なエッチングを保証します。DxZには高度な基板ローダーが搭載されており、さまざまなサイズの最大32基板を正確に処理します。ホウケイ酸ガラストップは温度の均一性と放熱を提供するように設計されていますが、パルスシールドはプラズマの均一性を高め、ウェーハバンピングを減少させます。RFインピーダンスマッチングネットワークは、安全で正確な電力供給を提供します。また、液体窒素循環冷却装置やRF熱管理などの高度な冷却システムを搭載し、最適な冷却性能を実現しています。AMAT Centura DxZは、信頼性が高く効率的な生産グレードのエッチング/RIEリアクターとして設計されています。高度なガス制御技術、高いプロセス温度の均一性、最大32の数までの基板を収容する能力とRFインピーダンスマッチングネットワークは、最大エッチング速度、精度、製品品質を保証します。DxZの高スループット、最適化、およびパフォーマンスにより、高付加価値および高収率アプリケーション向けの集積回路生産に最適です。