中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9093320 を販売中
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販売された
ID: 9093320
CVD System, 8"
(3) Chambers: DxZ
Ch. A:
MANOMETER:100/2
HEATER: AL
CLEAN METHOD: AE 2000-2V
Pressure METHOD: Direct drive throttle valve
CH. B:
MANOMETER:100/2
HEATER: AL
CLEAN METHOD: AE 2000-2V
Pressure METHOD: Direct drive throttle valve
CH. D:
MANOMETER:100/2
HEATER: AL
CLEAN METHOD: AE 2000-2V
Pressure METHOD: Direct drive throttle valve
1st Monitor: Through the wall
2nd Monitor: Stand alone
Narrow body loadlock
HP Robot
OTF
Valves: Unit MFCs
Filters: Milipore
Regulators: Veriflo
System cabinet exhaust: Top
Single line drop
Gas Pallet Config:
CH.A SIZE MODEL CH.B SIZE MODEL CH.D SIZE MODEL
SiH4 500sccm Stec MFCs SiH4 500sccm Stec MFCs SiH4 500sccm Stec MFCs
NH3 200sccm Unit MFCs NH3 200sccm Unit MFCs NH3 200sccm Unit MFCs
NF3 1 Slm Unit MFCs NF3 2 Slm Unit MFCs NF3 1 Slm Unit MFCs
N2O 500sccm Unit MFCs N2O 500sccm Unit MFCs N2O 500sccm Unit MFCs
N2 5 Slm Unit MFCs N2 5 Slm Unit MFCs N2 5 Slm Unit MFCs
Process: nitride deposition (Nit. Pass.)
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ 2.5MW PECVDリアクターは、アモルファス、微孔質、ケイ素、炭素窒化物などの先端材料の沈着用に設計されています。高いコンフィギュレーション性を持ち、多種多様な用途に対応した成膜ソリューションを提供します。AMAT Centura DxZ原子炉は、磁化プラズマを使用して堆積ガスの均一で持続的な流れを作り出す寄生平行プレート原子炉です。これにより、すべての表面に最適化された蒸着速度とコンフォーマルコーティングが可能になります。原子炉は、2ナノメートルから8マイクロメートルまでの厚さの層を堆積するように設計されています。PECVDプロセスは、低熱負荷を維持しながら、さまざまな形状に優れたステップカバレッジを提供します。APPLIED MATERIALTS Centura DxZリアクターには最大2。5MWの電源が搭載されており、高い蒸着速度を実現しています。プラズマ密度は調整可能で、異なるガスの組み合わせを最適に取り込むことができます。また、2つの独立したガスフィードを備えているため、温度、圧力、ドーピングなどのプラズマパラメータを独立して制御できます。Centura DxZリアクターの動作圧力範囲は0。01 mbar〜4 mbarで、エッチングや成膜など様々なプロセスが可能です。温度範囲は200度から900度の間で調節可能で、異なったプロセスレシピを可能にします。リアクターは、安定した再現性のあるプロセス制御のために構成することもでき、時間後に一貫した結果を得ることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZは、安全で信頼性の高い操作のために設計されています。オンボードパージシステムや温度センシングなど、いくつかの安全システムが装備されています。これにより、残留ガスの存在による潜在的な汚染の安全な操作と防止を可能にします。全体として、AMAT Centura DxZリアクターは、さまざまな用途のための幅広い先端材料の堆積のための高度なツールです。その広い動作温度と圧力範囲、高出力と安定した再現性のあるプロセス制御と組み合わせることで、柔軟で信頼性の高い蒸着ソリューションになります。
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