中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #9046124 を販売中
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販売された
ID: 9046124
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
(3) chamber CVD system, 8"
Specifications:
Platform type: Centura I Body
SBC Board: V452
Chamber Type:
Position A: DxZ Nitride
Position B: DxZ Nitride
Position C: DxZ Nitride
Position D: Blank
Position E: MULTI COOLDOWN
CH A: DxZ Chamber:
Baratron Guage: 10Torr / 1Torr
Match: AE 3155094-003A
Heater Lift: 0010-38426
RF Generator: RFG 2000-2V
EPD: 0500-01047
Heater Driver: 0190-09419
CH B: DxZ Chamber:
Baratron Guage: 10Torr / 1Torr
Match: AE 3155094-003A
Heater Lift: 0010-38426
RF Generator: RFG 2000-2V
EPD: 0500-01047
Heater Driver 0190-09419
CH C: DxZ Chamber:
Baratron Guage: 10Torr / 1Torr
Match: AE 3155094-003A
Heater Lift: 0010-38426
RF Generator: RFG 2000-2V
EPD:
Heater Driver: 0190-09419
CH E: Cooldown Chamber:
Type: Multi cooldown
Gas Delivery Options:
Component Selection: standard
Valve: Veriflo
Transducer: MKS
Regulator:
Filter:
Transducer Displays:
MFC Type: STEC 4400
Gas Panel: Pallet A:
Pallet
Gas Line Configuration:
Line 1: Gas NH3
MFC Size: 2 SLM
Line 2: Gas N2
MFC Size: 5 SLM
Line 3: Gas SiH4
MFC Size: 200 SCCM
Line 4: Gas NF3
MFC Size: 1 SLM
Line 5: Gas N2O
MFC Size: 1 SLM
Line 6: Gas CF4
MFC Size: 3 SLM
Line 7: Gas N20
MFC Size: 4V 239.7 SCCM / 2V 119.8SCCM
Line 8: Gas N2
MFC Size: 5 SLM
Line 9: Gas HE
MFC Size: 5SLM
Gas Panel: Pallet B:
Pallet:
Gas Line Configuration:
Line 1: Gas NH3
MFC Size: 2 SLM
Line 2: Gas N2
MFC Size: 5SLM
Line 3: Gas SiH4
MFC Size: 200 SCCM
Line 4: Gas NF3
MFC Size: 1 SLM
Line 5: Gas N2O
MFC Size: 1 SLM
Line 6: Gas CF4
MFC Size: 3 SLM
Line 7: Gas N20
MFC Size: 4V 239.7 SCCM / 2V 119.8SCCM
Line 8: Gas N2
MFC Size: 5 SLM
Line 9: Gas HE
MFC Size: 5SLM
Gas Panel: Pallet C:
Pallet:
Gas Line Configuration
Line 1: Gas NH3
MFC Size: 2 SLM
Line 2: Gas N2
MFC Size: 5SLM
Line 3: Gas SiH4
MFC Size: 200 SCCM
Line 4: Gas NF3
MFC Size: 1 SLM
Line 5: Gas N2O
MFC Size: 1 SLM
Line 6: Gas CF4
MFC Size: 3 SLM
Line 7: Gas N20
MFC Size: 4V 239.7 SCCM / 2V 119.8SCCM
Line 8: Gas N2
MFC Size: 5 SLM
Line 9: Gas HE
MFC Size: 5SLM
Transfer Chamber Options:
Transfer Ch Manual Lid Hoist: yes
Robot Type: Centura HP robot
Robot Blade Option: Ceramic Blade
Remotes:
Heat Exchanger: AMAT 0
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactorは、優れた蒸着品質と工具寿命の延長を実現するように設計されたシングルウェーハ化学蒸着（CVD）装置です。このシステムは、ユーザーが生産要件に基づいてユニットをカスタマイズできるモジュラーコンセプトで設計されています。これは、独立して駆動するセンターステーションと変換ステーションを備えた回転サセプタプラットフォームを備えており、ウェーハ間の均一な配置を保証します。また、ウェハ全体に均一な熱処理を可能にする独立したサセプター発熱体を備えたデジタル温度制御機を備えています。このツールには、ユニバーサルマルチシャワーヘッドが装備されており、ユニークなフィルムの均一な成膜と高スループットを保証します。プロセスチャンバーは、汚染のない操作のために非常に真空密封されており、さらに汚染を低減するためにパージ資産が含まれています。AMAT Centura DxZには、フィルムが一貫して高品質で堆積することを保証するために、プロセスガスを制御および監視するためのガスパネルモデルも装備されています。さらに、修理、メンテナンス、アップグレード中にフィルムを素早く簡単に取り外すための自動ストリッピング機構が含まれています。堅牢な設計と信頼性の高い性能を備えたAPPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactorは、半導体およびMEMSデバイス製造におけるCVDアプリケーションに最適です。
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