中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #138375 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZは、半導体製造用ウェハの大量生産用に設計されたリアクター装置です。このシステムは、プロセスチャンバー、加熱冷却システム、ガス供給システム、および電力供給で構成されています。プロセス部屋はセラミックシールを通して外的な暖房および冷却源に接続されるステンレス鋼、真空密封された環境です。ウェーハホルダーを搭載し、一度に最大6個のウェーハを正確に配置できます。チャンバーの内部は直接ガス加熱によって加熱され、冷たい壁または液体ヘリウム熱交換器によって冷却されます。ガス供給は、正確なプロセス制御とシーケンシングを保証するために、自動制御バルブによって提供されます。真空ユニットは、チャンバーを適切な動作圧力に保ち、処理中にきれいな雰囲気を維持します。さらに、このマシンにはロードロックツールが装備されており、ウェーハの効率的な大量搬送をプロセス室からおよびプロセス室へと提供します。この資産には、DC、 RF、マイクロ波源など、さまざまな電源が使用されています。AMAT Centura DxZは最高水準に構築されており、安全で信頼性の高いウェーハ生産ソリューションを提供します。正確な温度制御、急速なサーマルサイクリング、複数のウエハーの十分なスペース、プログラム可能なガス供給を提供し、幅広い製品ボリュームに対応しています。このモデルは、お客様のニーズに合わせて構成することもでき、お客様固有のニーズに対応するためにさまざまなオプションを用意しています。APPLIED MATERIALS Centura DxZは、AMATの高度なハードウェアおよびソフトウェアソリューションと組み合わせて、半導体製造に最適なプロセスソリューションを提供します。