中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DxZ #114611 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DxZ Reactorは、高度な半導体集積回路の製造に使用されるマルチゾーン薄膜蒸着装置です。この原子炉は、高いスループットウェーハ処理、プロセスの柔軟性、および高精度を提供するように設計されています。この原子炉は、優れたシステム性能を提供し、ウェハプロセスの柔軟性を可能にするために、4つの電気的に独立したゾーンを利用しています。4つのゾーンにはそれぞれ、ICPプラズマ源から供給された高温誘導結合プラズマ（ICP）が含まれています。ICPソースにより、原子炉は最大1000°Cの基板温度で動作するため、高温金属や合金の加工が可能です。さらに、4ゾーンアーキテクチャにより、1つのウエハに複数のプロセスレシピを実装できます。例えば、1つのウエハには4つの異なる材料が同じリアクターで処理されます。AMAT Centura DxZリアクターは、高速ロボットアームを備えたウェハートランスポートユニットを備えています。このマシンは優れたスループット、精度、可用性を提供し、リアクタは1時間あたり最大180個のウェーハを処理できます。また、ソフトウェア制御、データロギング、グラフィックディスプレイなど、プロセス監視および制御システムの完全なスイートを備えています。このソフトウェアを使用すると、ユーザーはプロセス全体にわたって原子炉のパフォーマンスを制御、監視、および最適化することができます。この原子炉は、卓越した信頼性と再現性のために構築されています。このツールは、汚染物質に対する高い耐性を備え、厳格な安全性と環境基準を満たすように設計されています。さらに、原子炉は品質管理資産を利用して、プロセスが確実に再現可能であることを保証します。アプライドマテリアルズCentura DxZは、市場で最も先進的な薄膜蒸着炉の1つであり、最先端の半導体デバイスの迅速な開発とコスト効率の高い生産を可能にします。優れたスループット、柔軟性、信頼性、精度を備えたCentura DxZ Reactorは、半導体業界のメーカーにとって最適なソリューションです。