中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9398745 を販売中
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ID: 9398745
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Metal etcher, 8"
Wafer type: SNNF
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy
CRT Screen
LLA/LLB: Wide body load lock with rotation
HP Robot
Chamber A: ASP+
Chamber C: Metal DPS R0
Chamber D: eMxP+
Chamber E: Single slot cool down
Chamber F: Orienter
Main AC rack
System controller rack
Power supply / Generator racks
Miscellaneous parts
Does not include:
Heat exchangers
Backing / Roughing pump
SSSCo PDS Solution
eMxP+ Process kit
eMxp+ ESC
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS (Dynamic Process Equipment)は、オプトエレクトロニクス、マイクロエレクトロニクス、ハイブリッド材料の製造のために完成された、エネルギー効率の良い柔軟なプラットフォーム内でウェーハを処理するために設計された原子炉です。このシステムは、大規模なクラスタツールで高いスループットを提供し、最大28個のウェーハを同時に処理できます。高度な制御エレクトロニクスを使用して、AMAT Centura DPSは高速サイクルタイムで再現性、正確性、信頼性の高いパフォーマンスを提供します。これは、高面、複数の反応チャンバー設計と独自に配置された石英壁を組み合わせ、すべての蒸着領域で均一性を確保し、優れたプロセス精度を提供します。APPLIED MATERIALS Centura DPSは、幅広いプロセス機能とパラメータを提供し、お客様が必要な結果を迅速かつコスト効率よく得ることができます。この原子炉は、プロセスガスを供給する低質量、低熱、高効率マニホールド、および正確かつ再現可能なウェーハ位置決めのための高効率サセプター設計で構成されています。このユニットには、自動化された操作のためのPLC (Programmable Logic Controller)技術、使いやすさのための高度なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)、および最大の効率と品質のための統合されたレシピとトレンドストレージが含まれています。Centura DPSは、さまざまな基板サイズと材料と互換性があり、均一な温度制御を使用して優れた基板均一性を提供します。このマシンには、高度なオートメーションと制御機能が搭載されており、核と分解のためのカスタマイズ可能なプログラムと、多層自動ウェーハ処理ツールが含まれています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPSは、迅速なアセットスタートアップとウェーハ汚染のない環境を提供します。全体として、AMAT Centura DPSは高性能オプトエレクトロニクス、マイクロエレクトロニクス、ハイブリッド材料の製造に適した汎用性の高いモデルです。再現性、精度、ウェーハ間の均一性に優れているため、精密なアプリケーションに最適です。この高度なプロセスは、コスト、エネルギー使用量、時間を最小限に抑えながら、スループットを最適化するように設計されています。
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