中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9395287 を販売中
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ID: 9395287
ウェーハサイズ: 6"
Poly etcher, 6"
Mainframe:
Position A, B: DPS Plus poly
Position F: Orienter
Front panel: Anti-static painted
Signal light tower: 3 Color (R, A, G)
Type: AC Rack
Type: EMO Switch
EMO Guard ring
Flow sensor chamber:
Wall
Cathode
Turbo pump 4
DPS
Type: Wide body loadlock
Slit valve: O-Ring type (viton)
Wafer mapping: Enhanced (fast)
Type: HP and robot
Robot blade option
Wafer on blade detector: Basic
Vent filter: Ceramic
Heater
Loadlock vent: Top
Orienter chamber:
Type: Hoop
DTCU: ES
Voltage distributor
Mount ring
Lower chamber cover: STD
Type: Lip seal
EDWARDS TMP
Pressure gauge: CM 100 Mt (MKS)
Pressure gauge: CM 10 Torr (MKS)
ESC HV Module P/N: 0010-30139
BIAS RF Matcher P/N: 0010-00854
Source RF Matcher: Install
HE Pressure controller
Type: MKS649A (50 SCCM)
ATLAS 2012 Source RF Generator
ACG-6B RF Generator (BIAS)
Throttling Gate Valve (TGV)
EDWARDS TMP Etcher pump pipe line
With heater
Cathode assy type: HE Single supply
Upper chamber: Full A-coat
Ceramic dome P/N: 0200-39137
Gas panel:
MFC Type: AERA FC-D980C
Position / Gas / MFC Size
Gas 1, 11 / CL2 / 200 SCCM
Gas 2, 12 / HBR / 200 SCCM
Gas 6, 16 / CF4 / 200 SCCM
Gas 7, 17 / CHF3 / 100 SCCM
Gas 8, 18 / O2 / 100 SCCM
Gas 9, 19 / SF6 / 100 SCCM
Gas 10, 20 / AR / 200 SCCM
Gas panel facilities:
BD Side
SLD Box bottom feed
AC Chamber TOP side
VMEII Gas panel controller
VERIFLO Valve
MKS 872 Transducer
VERIFLO SQ2 Regulator
MILIPORE Filter
Transducer display per stick
CRT Endpoint monitor
Rack mount
Type: (2) Monochromators
Type: V452 SBC Controller
Umbilicles: 40 Feet base
Mainframe umbilical: 40 ft
AC Mainframe umbilical: 40 ft
Chiller control cable length: 40 ft
Chiller hose length: 50 ft
Pump signal cable length: 50 ft
RF RACK To MF Cable length: 75 ft
Type: SMC H2000 Chiller
Cathode (chamber A, B): SMC H2000
Wall (chamber A, B): SMC H2000
Dome (chamber A, B): Facility cooling water
Coolant Type: DI and EG
(2) Chiller power lines (Tool C/B Chiller)
Type: (4) Chiller hoses (50 Ft)
Signal I/O
EBARA AA40W / AA10
(4) Pump interfaces
(4) Pump power lines (Tool C/B Pump)
M/F Utility connection: Rear side
UPS
Lamp CB: 20 A
RF Generator CB: (B)15 A / (S)30 A
Pump CB: 30 A
CRT Monitor
Type: DTCU Hoist
Power supply: 200 - 208 VAC, 60 Hz, 100 mA.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPSは、プラズマベースの産業製造アプリケーション向けの高性能集積装置です。先端技術ノード、フラットパネルディスプレイ、コンピュータメモリチップ、マイクロプロセッサなどの半導体デバイスの製造用に設計されています。このシステムは、6ゾーンのロードロックと複数のインテリジェントなエンドエフェクターを備えたインラインドライブ機構を備えており、正確で繰り返し可能な製品配置を可能にします。リアクターは、反復可能かつ反復可能な結果と並行して最大25ウェーハを処理することができます。このユニットには、リアルタイムのレシピ生成オプション、高度な安全機能、独自のハードウェアを備えた自動レシピ制御マシンが含まれており、処理パラメータをカスタマイズする際のほぼ無限の柔軟性を可能にします。これにより、新しい製品の設計やプロセスの変更など、生産ニーズの変化に合わせてツールを簡単に適応できます。AMAT Centura DPSは、純粋な単結晶シリコン、金属、ポリマーなど、さまざまな先端材料や基板を処理できます。これは、原子層、電子ビーム、イオンビーム処理など、さまざまな蒸着およびエッチングプロセスを提供することができます。また、高度な分析および監視機能を備えているため、蒸着およびエッチングプロセスにおいて高精度かつ再現性があり、高い歩留まりと生産プロセスの品質向上を可能にします。アプライドマテリアルズCentura DPSは、最新の高度なプロセスステップに対応するように設計されており、自動アライメント、自動調整、マシンビジョンなどの高度なプロセスオートメーションツールやテクノロジーと互換性があります。これにより、最高レベルの品質と精度を維持しながら、より迅速で効率的な処理が可能になります。このマシンには可動部品がなく、24時間365日稼動し、リソースを最適化し、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。Centura DPSモデルは、EUの安全性、レポート、環境基準に準拠しているため、産業環境に最適です。堅牢で高性能な処理の利点に加えて、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPSも使いやすく、メンテナンスも簡単です。ユーザーフレンドリーなインターフェース、現場での人材トレーニング、リアルタイムのトラブルシューティングサポートを備えているため、市場で最も信頼性が高く費用対効果の高い生産ツールの1つです。
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