中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9296970 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS（デュアルプロセスソリューション）は、半導体業界で一般的に使用されるデュアルプロセスリアクターです。自動化されたシングルソースバッチプロセスにより、スループットが向上し、プロセスの再現性が向上した優れた温度および圧力制御を提供します。その結果、DPS炉は幅広い先進半導体アプリケーションに適しています。AMAT Centura DPSは2つのプロセスモジュールを備えており、同じプロセスチャンバーで複数のステップを実行しても、ウェーハからウェーハまでの再現性を回復できます。各プロセスモジュールには、1500°Cまでの温度に達することができる2つの上下の暖房プレートと、200KWまでの電源をサポートする2つの低圧RFソースが含まれています。さらに、DPSリアクターには高度なPID （Proportional-Integral-Derivative）コントローラとソフトウェアが装備されており、正確な温度制御を可能にし、均一で一貫したプロセス性能を実現します。APPLIED MATERIALTS Centura DPSは柔軟性のために設計されており、さまざまな加工アプリケーションに対応しています。必要に応じてエッチング、蒸着、ストリッププロセス用にカスタム設定できます。この原子炉は高分解能の圧力と温度の測定も可能であり、高度なコントローラは最高のリフロー制御を提供します。Centura DPSは耐久性と安全性に優れ、必要な温度と圧力を維持しながら密閉環境を提供し、優れた熱均一性と高速サイクル時間を提供します。さらに、優れた温度および圧力監視機能、自動温度および圧力アラーム、およびユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPSは、生産性を最大化し、常に最高のプロセス品質を維持しようとするユーザーに最適な選択肢です。使いやすく、信頼性が高く、機能豊富な設計により、半導体や高度なパッケージング業界に最適です。