中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9258527 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS （Direct Plasma Source）は汎用性の高いシングルウェハリアクターで、重要なフィルム蒸着プロセスに信頼性と再現性の高いプラズマ環境を提供します。シングルウェーハ設計により、手動転送が不要になり、高速かつ効率的な生産速度を実現します。反応チャンバーは、プロセス制御を改善し、フィルムの均一性を向上させるように設計されており、ユーザーは、単一のウェーハエピタキシーおよびCVDプロセス、誘電性間層成膜、および金属化プロセスなど、さまざまな蒸着プロセスで最高の性能を達成することができます。AMAT Centura DPSは、不純物を最小限に抑えた安定したプラズマ環境を提供する高度で高効率なRFジェネレータをはじめ、さまざまな機能と利点を提供します。この機器は、高度な自動制御ソフトウェアを使用して柔軟で効率的な操作を可能にし、ユーザーがレシピを作成して更新することができ、さらにシステム間で直接レシピを転送するオプションをサポートします。加えて、APPLIED MATERIALS Centura DPSには、便利なガスのパージと液体冷却のためのガスと液体の配送システムが内蔵されています。また、細いプロセスウィンドウと長時間にわたるプロセスの再現性により、高密度でクローズドトレランス処理が可能です。このマシンには、メンテナンスの短縮と稼働時間の増加のための統合フィラメント洗浄ステーションも含まれています。厚膜を効率的に処理するための高圧シャワーインターフェイスを備えており、自動故障検出とフィードバックのための組み込み診断ツールを利用しています。最後に、アセットには、安全で信頼性の高い操作を保証するために、緊急シャットダウンモデルや緊急ベントバルブなどの多くの安全機能があります。結論として、Centura DPSは、高度な製造プロセスの厳しい要件を満たすために構築された業界をリードするシングルウェーハリアクターです。内蔵のRFジェネレータ、自動化されたソフトウェア、高密度設計、統合されたガスおよび液体配達、埋め込まれた欠陥検出、および安全機能により、装置は最小限のダウンタイムで信頼性の高い再現可能な処理を提供するように設計されています。