中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9255765 を販売中
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ID: 9255765
ウェーハサイズ: 12"
System, 12"
(4) Chambers (With pumps)
(2) Wafer transfer modules
Front end
Electronics cabinet
Etch clean AC rack.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactorは、次世代半導体製品のコスト効率と信頼性の高い生産を可能にするために設計された先進的な半導体加工装置です。真空チャンバー、ユニバーサル基板テーブル、フロントエンドカセットロック、自動ロードポート、プログラマブルモーションコントローラを備え、すべて生産を合理化し、ユーザー時間を最小限に抑えるように設計されています。AMAT Centura DPSは、ウェーハや基板の手動ローディングの必要性を排除し、半導体プロセスの伝統的な部分である危険化学物質の露出と処理を低減します。APPLIED MATERIALTS Centura DPSは、アクティブチャンバー内の基板や部品の正確な位置決めが可能なユニークな3軸ウェーハ搬送ロボットで構成されており、最大のアップタイムを可能にします。in-situプロセスチャンバーに加えて、システムには基板の前処理/後処理のためのリモートプロセスチャンバーが含まれています。統合されたプロセス制御ユニットは、ほぼリアルタイムのフィードバックを可能にし、正確な処理パラメータを取得し、正確に維持することができます。Centura DPSには、高分解能の投影相対測定機が装備されており、複数の実行にわたってプロセスの精度と再現性を保証します。この洗練されたイメージングツールは、正確なプロセス条件と結果を検証するための特徴特性を層ごとに表現します。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactorは、乾式および湿式エッチングを含む複数のプロセスモードが可能で、幅広い処理ウィンドウを提供します。エッチングに加えて、成膜や剥離用途にも使用できます。AMAT Centura DPSは、迅速な切断機能を備えたスマートバルブなどのメンテナンスフレンドリーな機能で設計されており、メンテナンスを容易にし、ダウンタイムを短縮できます。原子炉は、さまざまなチャンバーサイズで構成することができ、各アプリケーションの特定のニーズを満たすための柔軟性を提供します。APPLIED MATERIALS Centura DPS Reactorのコンパクトなサイズは、狭いスペースで高品質のパフォーマンスを提供することを可能にし、製造業者がスペースが優れているシステムを運用する機会を生み出します。この堅牢で信頼性の高いモデルは、高い歩留まりと一貫した品質の製造を提供し、企業は競争力のある仕様を最大限に引き出すことができます。
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