中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9253112 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS
ID: 9253112
ウェーハサイズ: 12"
Poly etcher, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPSは、様々な産業に適用するために設計されたプラズマ強化成膜装置です。コーティング、半導体、金属、絶縁体、その他の材料を用いたフィルム、フィルム、フィルムの堆積に使用できます。AMAT Centura DPSは、幅広い蒸着プロセスにわたって高いスループットと一貫したプラズマを提供します。3,600°Cまでの温度安定性を提供し、さまざまな形状の部品に対応できます。APPLIED MATERIALS Centura DPSは、均一性を重視し、正確で再現性のある蒸着プロセスを可能にします。この機械は、標準的なHVおよびLPF制御を使用した強力でよく設計されたガス供給システムを備えています。これにより、必要な圧力、組成、温度で必要なガスを供給することにより、正確な堆積が保証されます。Centura DPSは、電源とプラズマ設定の制御に直接デジタル制御を使用します。これにより、プラズマプロセスパラメータを正確に制御し、再現性のある信頼性の高いパフォーマンスを実現します。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPSの放射線と軸方向の均一性は、その強力なスーツの1つです。蒸着の正確な制御は、プロセスで使用される3つの段階(2ガスと1ソース)のそれぞれで行われます。AMAT Centura DPSには、基板から基板までの均一性を安定したプラットフォームを提供する堅牢なクランプユニットが装備されています。プロセスチャンバーはメンテナンス目的で簡単にアクセスできます。基板の積み下ろしを容易に行えるロードアンロックドアを備えています。このチャンバーには、温度の均一性を確保し、沈着時の予期しない変化を避けるために、4ポイントプロセスのチャンバー冷却機も備えています。APPLIED MATERIALS Centura DPSは、スループットを最大化しながら、高品質の結果を提供します。オートセンタリングとオートレベリングにより、基板の正しい配置が保証され、漂流を防ぎます。その再現性と信頼性の高い性能により、生産関連アプリケーションに最適です。それは優秀な性能および高いスループットを提供する優秀な設計および先端技術と造られます。
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