中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9251502 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+は、AMATが高度な加工用途向けに開発した半導体炉です。AMAT Centura DPS+は、高速シーケンシャル基板転送を介して、1つの工程で複数の基板にドープフィルムを迅速に堆積およびエッチングする能力を提供する高度な多基板拡散およびインプラント反応器です。この装置は、高密度・超大型集積（ULSI）部品の大量生産に最適です。加えて、APPLIED MATERIALTS CENTURA DPS+リアクターは、低圧化学蒸着（LPCVD）やMOL （Metal Oxide Low Temperature）プロセスなどの先進的な材料蒸着技術もサポートしています。APPLIED MATERIALTS Centura DPS+リアクターは、複数のモジュールからなる自動化された、完全に自動化された複数のウェーハシステムであり、それぞれが特定の処理フェーズを処理するように設計されています。Purge/Gass Flow Module、 Wafer-Transfer Module、 Thermal Chamber、 Gas Delivery Module、 Cold Wall Module、 Hot Resource Moduleなどがあります。CENTURA DPS+リアクターのパージ/ガスフローモジュールは、特定の要件を満たすためにガス流量を自動的に制御および維持することにより、信頼性の高い一貫したガス流量を保証します。このモジュールはまた、原子炉室とそのプロセスを適切にパージするために必要な電子機器と力学を管理および制御します。AMAT CENTURA DPS+リアクターのウェーハ伝達モジュールにより、複数の基板を効率的かつ正確に熱室に転送できます。このモジュールは、AMAT/APPLIED MATERIALTS CENTURA DPS+ユニットの精度と効率を高めるために非常に重要です。Centura DPS+リアクターの熱室は、316Lステンレス鋼から構成され、高度な処理ニーズに対応するために最大1200°Cの温度範囲を提供するように設計されています。制御可能な温度により、異なる基板に加工プロファイルを正確に適用することができ、材料の堆積またはエッチング時に完全な精度と精度を保証します。AMAT/APPLIED MATERIALTS Centura DPS+リアクターのガス供給モジュールは、機械が必要とするプロセスガスを正確かつ正確に供給することを可能にします。このモジュールは、原子炉で必要とされるガスの流れのルーティング、制御、管理も担当しています。AMAT Centura DPS+リアクターのコールドウォールモジュールは、クライオ冷却または低温冷却を基板に正確かつ正確に適用することができ、非常に正確で再現性の高い温度制御を可能にします。最後に、APPLIED MATERIALTS CENTURA DPS+リアクターのホットリソースモジュールは、正確かつ再現可能な処理のために、熱室への電力および発熱素子などの重要なリソースを管理および制御します。さらに、このモジュールはまた、特定の要件を満たすために温度の正確な自動調整を可能にします。これらのモジュールにより、APPLIED MATERIALTS Centura DPS+リアクターは材料を正確かつ正確に堆積およびエッチングすることができ、高密度、超大規模インテグレーション（ULSI）コンポーネントを大量に製造できます。APPLIED MATERIALSが提供する高度な技術は、信頼性と再現性の高い性能を保証し、半導体業界で最高レベルの精度を実現します。