中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9249569 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+は、深い異方性エッチングと浅い等方性プロセスの両方を実行するように設計された先進的なプラズマエッチングリアクターで、高い選択性と基層への損傷を最小限に抑えます。これは、高速かつ効率的な操作を行う自動リモート制御機器を装備しています。この原子炉は、独自のAMATSi （Advanced Materials Atomic Thickness Selection）エッチング技術に基づいており、さまざまなアプリケーションに最適な結果を提供するための幅広いプロセスガスを含んでいます。独自の「マルチパディング」設計により、プロセスチャンバ全体に均一な圧力が発生するため、プロセスの厳密な制御、均一性と再現性の向上、歩留まりとコスト削減が可能になります。AMAT Centura DPS+は、PECVD （Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）処理とPEB （Plasma Enhanced Etching）処理の両方に設定できます。PECVD処理は、PCBやシリコンウェーハなどの基板上に金属などの薄膜を成長させるために使用されます。PEB処理は、これらのフィルムを除去し、金属や誘電体などの基材をエッチングするために使用されます。APPLIED MATERIALTS CENTURA DPS+は、多段式アプローチを使用して構築され、1回の実行で8インチのウェーハを処理できます。原子炉室は、カスタムのガス供給システムとプロセスコントローラに対応するように設計されており、ユーザーはアプリケーションの仕様に正確に合わせてプロセスを調整することができます。AMAT CENTURA DPS+は、先進の第12世代電源を搭載しており、エッチング工程で高いプラズマ密度とプロセス均一性を実現します。このシステムには、プロセス廃棄物や有機種を迅速に避難させるための高度な真空ユニットも装備されています。さらに、このマシンを使用してプロセスをリアルタイムで監視および分析することができ、ユーザーはプロセスに必要な調整を迅速かつ簡単に行うことができます。CENTURA DPS+はパワフルで高度なエッチングリアクタツールで、優れた性能と再現性を提供します。包括的な設計と高度な機能により、さまざまな業界のエッチング用途において費用対効果の高いソリューションとなります。