中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9233299 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS/APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+リアクターは、薄膜の拡散および蒸着に使用される、業界をリードする中型のPECVD（プラス）原子炉です。半導体フィルム、金属、フィルムなどの成膜に使用されるスケーラブルで自己完結型のツールです。AMAT Centura DPS+は、さまざまなユーザーフレンドリーなアクティブガスおよびウェハローディング構成を提供する独自の機能です。アクティブガスモジュールは、より大きなガスを特定の圧力で選択して使用することができ、より効率的で制御された蒸着プロセスを可能にします。さらに、手動/自動ローディングオプションにより、必要に応じてさまざまなウェーハサイズを切り替えることができます。この機能の組み合わせにより、ユーザーは特定の設計要件に合わせてプロセスを迅速に調整および調整することができます。応用材料CENTURA DPS+リアクターは、プラズマを生成するための強力なハイブリッドクラスタソースも備えています。このソースは、PECVDプロセスの厳しい温度、圧力、RF電力要件を満たす高密度の単調偏光プラズマを生成することができます。このハイブリッドクラスタソースは、自己一貫性のある数学的手法を利用して、フラッシュオーバーの確率を最小限に抑えるプラズマを生成し、ターゲット基板の一貫して均一なカバレッジを保証します。APPLIED MATERIALTS Centura DPS+には、洗練された診断スイートがあり、すべての重要なプロセスパラメータを正確に監視できます。この診断スイートを使用して、すべてのプロセスパラメータが仕様内にあり、蒸着プロセスが適切に実行されていることを確認できます。診断スイートには、RFレベル、ウェーハ温度、蒸着速度、ソース電力、圧力、およびプラズマ分布測定が含まれます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+は、信頼性と再現性の高いプロセス制御を提供できる汎用性と使いやすいリアクターです。薄膜、金属、その他の材料の成膜を選択、カスタマイズ、制御することができます。強力なハイブリッドクラスタソース、ユーザーフレンドリーなアクティブガスおよびウェハローディング構成、および高度な診断スイートを組み合わせることで、複数のバッチにわたって一貫した信頼性の高いプロセス制御を提供するのに理想的です。