中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9233293 を販売中
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ID: 9233293
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
Poly etcher, 8"
Mainframe: Centura Phase2
Chamber A, B & C:
DTCU: ES-DTCU
Gate & throttle valve: TGV, VAT
EDWARDS STP-A2203 Turbo pump
Pumping tube: Heated
ADVANCED ENERGY Altas 2012 Generator (Source)
ENI ACG-6B Generator (Bias)
ESC: Ceramic
EPD: IEP
Chamber F: Orieter
Xfer: HP Robot
L/L: Narrow, heated, tilt-out
Hoist: Local hoist
Gas panel:
Chamber A & C:
Gas / Size / Model
HBr / 200sccm / 8160
Cl2 / 200sccm / 8160
Cl2 / 50sccm / 8160
SF6 / 50sccm / 8160
N2 / 20sccm / 8160
Ar / 200sccm / 8160
CF4 / 100sccm / 8161
He / 20sccm / 8160
O2 / 100sccm / 8161C
Chamber B:
Gas / Size / Model
HBr / 200sccm / 8160
Cl2 / 200sccm / 8161C
Cl2 / 50sccm / 8160
SF6 / 50sccm / 8160
N2 / 20sccm / 8160
Ar / 200sccm / 8160
CF4 / 100sccm / 8161C
He / 20sccm / 8160
O2 / 100sccm / 8161C
Missing parts: Process chamber chiller & hose
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+は、さまざまな半導体製造プロセスを実行するために使用される最先端の原子炉です。幅広い半導体デバイス用途に迅速かつ正確な誘電膜の蒸着を提供する誘電成膜製品スイートです。この装置は、シリコン、石英、ガラス、ポリイミド、その他の表面などのさまざまな基板上の不動態層を生成することができます。AMAT Centura DPS+の最大フィールドサイズは25平方インチで、最小線量は1マイクロアンプです。そのリアクターは、すべての基板の均一な処理を保証する4象限回転スパッタ構成を備えています。また、最大1nm/sの採用率を実現できる高速スパッタリングソースを搭載しています。これは、ユニットに高いスループット能力を与えるのに役立ちます。また、蒸着プロセスのための精密な温度制御を実現するための高度な熱制御を備えており、より均一で一貫した結果をもたらします。APPLIED MATERIALTS CENTURA DPS+は、ケミカルベースの洗浄機能とプリクリーン機能を備えており、効率的なウェーハ処理を可能にします。また、処理サイクル中にさまざまなパラメータをリアルタイムで監視できるタッチスクリーンモニターも付属しています。このツールは、UNI-Core、 SEMI、 GCRなどのさまざまなプロトコル規格に準拠しています。また、ISO-9002認証を取得しており、Class IIクリーンルームのグレードで動作し、一貫した信頼性の高い結果を保証します。センチュラは、頑丈で耐腐食性の高いステンレス製フレームで構成されており、最も過酷な環境での信頼性の高い動作の長い寿命を保証します。全体として、CENTURA DPS+は堅牢で信頼性の高い原子炉であり、さまざまな半導体製造プロセスに対して高いスループットと正確な制御を提供するように設計されています。それはプロセス上の精密な温度そして化学制御を提供する研究および産業適用のために適しています。その印象的な仕様で、Centuraは高品質で信頼性の高いデバイスを作成するための最高のツールの1つです。
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