中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9233290 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+は、蒸着プロセス用に設計されたプラズマ強化化学蒸着炉（PECVD）です。高度な熱圧縮結合から高度な金属化層、非極性誘電体や酸化物の成長まで、さまざまな用途に適しています。DPS+は、必要なフィルム組成の複雑さや要求にかかわらず、成膜操作の完全な範囲に最適です。AMAT Centura DPS+は、完全な7軸モーションコントロールを備えた2ガンツーシャッターハードウェア構成で、基板と蒸着源の位置を精度の高い精度で調整できます。フルモーションコントロールにより、プロセスの柔軟性を提供し、高度な制御シーケンスを備えた高精度プロセスを可能にします。さらに、基板ホルダーに簡単にアクセスできるため、基板の素早い積み下ろしが可能です。さらに便利に、DPS+には複数のin-situまたはnear-situモニタプロセスがあり、プロセス条件を監視し、リアルタイムのフィードバックを提供し、オンザフライの調整を通じてプロセスの最適化を可能にします。このリアルタイムモニタリングにより、高レベルの状況認識が可能になり、すべてのプロセスがスムーズかつ効率的に実行されるようになります。この原子炉には、内部キャリアガス供給、ガスフローコントローラ、および埋め込みガス混合制御システムからなるユニークなコンピューター制御ガス配分装置も備えています。このユニットは、プロセス条件を正確に制御し、個々のプロセスごとに最適化されたガス供給を保証します。安全性に関しては、APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+は、堅牢な電気機械からプログラム可能なインターロックツール、独立して認定された緊急停止資産まで、安全な動作を確保するためにさまざまな対策を講じています。さらに、原子炉にはすべてのプロセスを監視する厳格なアラームシステムがあり、プロセスの不規則性をオペレータに警告します。AMAT CENTURA DPS+は、幅広いアプリケーション要件に対応できる汎用性と信頼性の高い原子炉です。その完全なモーションコントロール、高度な監視機能、独立した安全システムは、市場の他の原子炉よりも有利です。制御システムは、プロセス条件の正確な制御を保証し、ユーザーに堆積プロセスのより大きな制御を与えるのに役立ちます、それは品質管理と保証のための貴重なツールになります。