中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9157801 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPSは、幅広いデバイス処理ニーズに対応する次世代原子炉です。重要な蒸着プロセスパラメータを正確に制御し、同社のデュアルパターニングソリューション（DPS）ファミリの最新の反復処理です。この原子炉は、精密なプロセス制御により、今日の高度な計測、堆積、エッチング、表面処理に確実に取り組むように設計されています。AMAT Centura DPSは、高度な成膜技術とパターニング技術を組み合わせ、プロセスの安定性を向上させ、最先端のデバイスの需要の高い生産に適しています。DPSは、ボアやトレンチなどの高アスペクト比アプリケーションと、より伝統的なデバイスプロセスの両方に、正確なフルフィールドエッチングと成膜を提供します。この原子炉は封鎖されたシングルウェーハプロセスチャンバーを収容しており、前任者と比較して温度、圧力、およびプラズマの均一性が大幅に向上している。その対流冷却設計は、長期間の安定性を向上させるとともに、はるかに大きな焦点の深さを提供します。また、原子炉は自動チャンバーのフラッシュ機能を内蔵しており、均質なプロセスガスを提供しています。DPSは、蒸着およびエッチングプロセスパラメータを正確に制御し、反復可能な製品結果を得ることができます。さらに、プロセスチャンバーはリアルタイムプラズマと圧力フィードバックを提供します。露出後のモデル校正の必要性を排除し、即時のプロセス修正を可能にします。高度なウエハサポートシステムにより、DPSはエッチングとコンフォーマルコーティングの両方に理想的な環境を提供します。APPLIED MATERIALS Centura DPSは、高度なプロセス機能に加えて、熱暴走シナリオを検出できる温度センサーを内蔵した優れた安全機能も備えています。個別にアドレス指定可能なレシピモジュールにより、ユーザーは最大限の柔軟性でレシピ設定を調整できます。Centura DPSは、さまざまなプロセスの要求を満たすことができる強力な原子炉です。最先端の機能と優れた安全機能を備え、あらゆるデバイス生産環境に最適です。