中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9096236 を販売中

ID: 9096236
ウェーハサイズ: 1997
Poly system (2) Chamber Currently installed 1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPSリアクターは、化学蒸着(CVD)および原子層蒸着(ALD)に利用可能な最高かつ最も信頼性の高いツールの1つです。これは、ユーザーが優れたフィルム特性と性能を持つ高度なフィルムを開発することを可能にする本格的な生産のために設計された高度なプロセス機器です。AMAT Centura DPSシステムのCVD反応チャンバは、ステンレス鋼から構成され、縦に取り付けられた2つの水晶プロセスチューブで構成されています。両方のチューブは真空環境に囲まれており、最大8。9リットルの総工程面積を備えています。プロセスチャンバー内の温度が正確に維持されるように、標準炉ユニットが使用されます。2つのプロセスチューブのそれぞれには、水晶チューブに組み込まれたマルチゾーンサセプターが含まれています。サセプターは個別に制御して、走行全体の温度プロファイルを決定できます。APPLIED MATERIALTS Centura DPSマシンのガス配送は、光ファイバ、マルチゾーンガス配送ツールを介して管理され、各ゾーンに独自の流量を許可することで均一性を確保します。この資産には、温度、圧力、およびガスの流れの統合された蒸着監視と制御も含まれています。これにより、製造時の精度が向上し、均一性の最適化に役立ちます。さらに、Centura DPSはデジタルインターフェイスを使用して、モデル設定、パラメータ、およびレシピのリモート管理を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS装置は、優れたフィルム特性と性能を備えた高品質のフィルムを製造するための堅牢で信頼性の高いツールです。AMAT Centura DPSは、高度な技術を駆使した慎重な設計により、優れた均一性と再現性を備えたフィルムを正確に製造することができます。このシステムは、優れた性能を持つ次世代フィルムを開発しようとする人々にとって理想的な選択肢です。
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