中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9093676 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+リアクターは、半導体製造のフロントエンドとバックエンドの両方のプロセスに耐久性があり、完全に自動化され、汎用性の高い処理装置です。このシステムは、ウェーハエピタキシー、イオン注入、金属CVD、およびALDプロセスに最適なプロセス結果を提供するように設計されています。原子炉は、ワークステーション、処理室、コントローラ、排気プレナム、ヒーター素子の5つの主要なサブシステムで構成されています。ワークステーションは、ユニットのロボットアームに必要な照明、動き、およびアライメントを提供するように設計されています。加工チャンバー自体は真空チャンバーで構成されており、0。06 Torrの低圧に避難することができ、堆積、埋め込み、および他のプロセスのための純粋で粒子のない環境を提供します。チャンバー内部もフィルムや粒子などの蓄積を防ぐように設計されており、熱交換器は均一なプロセス温度を維持しています。DPS+のコントローラは、適用されたレシピからコマンドを実行するだけでなく、プロセス結果を最適化するために必要な調整と決定を行う責任があります。インターフェイスはユーザーフレンドリーで、手動調整とオートメーションの両方を可能にします。機械の排気プレナは、プロセスの副産物を収集し、チャンバー内の熱負荷を最小限に抑える責任があります。最後に、原子炉のヒーター素子は調節可能であり、広範囲の温度に設定することができ、さらなる汎用性を提供します。AMAT Centura DPS+は、半導体製造において最適な処理結果を提供するとともに、完全に自動化され効率的に設計されています。このツールの柔軟性により、グループIV材料からグループIII -V化合物材料まで、幅広い材料を処理することができます。また、原子炉の汎用性により、エピタキシーやイオン注入などのフロントエンド用途や、金属CVDやALDなどのバックエンド用途にも最適です。