中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9093380 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPSは、次世代の製造技術開発のためのユニークな複数チャンバーウェット処理炉です。この原子炉には複数のチャンバーが装備されており、処理の課題に革新的で柔軟なソリューションを提供します。この原子炉は、高スループット、迅速なプロセスのターンアラウンド、優れたプロセス制御の理想的な組み合わせを提供します。AMAT Centura DPSリアクターは、蒸着機能とエッチング機能を備えた複数のチャンバーの組み合わせです。これにより、複数のプロセス手順を1つのリアクタに統合できます。2×2のシステムに最適で、2つの蒸着プロセスを1つのチャンバーで実行でき、2つのエッチングプロセスを別のチャンバーで実行できます。これにより、全体を通して迅速な生産が可能になり、即座にプロセスパラメータを調整する柔軟性が得られます。この原子炉には、より大きな制御、操作の容易さ、メンテナンスのためのいくつかの機能があります。高精度のロボットアームと多軸モーションコントロールシステムを備えた複合セラミックライニング真空チャンバーを備えています。真空チャンバーの設計は、優れた熱管理と改善されたプロセス制御を提供し、ロボットアームと多軸モーションコントロールは優れたウェーハ処理とプロセス制御を提供します。高性能RFジェネレータや光放射分光法などのその他の機能により、優れたプロセスの均一性と再現性が保証されます。原子炉は、最大数分の処理時間で大きな基板を処理する能力を持っています。また、その時間のほんの一部で小さな基板を処理することもできます。これは、高効率の加工チャンバ設計と最適化されたRF電源供給システムによるものです。それは少量の生産および研究開発の適用のために適しています。応用材料Centura DPSリアクターは、研究者やメーカーにとっても汎用性が高く強力なツールです。高いスループット、一貫した蒸着速度、優れた熱管理により、優れたプロセス制御を提供します。幅広いプロセスタスクに対応できる柔軟なソリューションを提供します。この原子炉は、大量の生産と研究開発に最適であり、高効率、高速、信頼性があります。