中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #293608987 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+は、MEMSやその他のマイクロスケールやナノスケール材料などの先端デバイスの大量生産のための薄膜蒸着プロセスを実行するように設計されたシングルウェーハの化学蒸着（CVD）炉です。これは、加工室、ガス供給装置、真空システム、制御装置の4つの主要なコンポーネントで構成されています。加工チャンバーはAMAT Centura DPS+の中心部品であり、ステンレス、アルミニウム合金、セラミック部品から作られています。ガスインレット、排気ポート、ウェハステージ、およびプロセス監視用のいくつかの石英表示ポートが含まれています。ウェーハステージは、処理中のウェーハをサポートするように設計されており、窒素パージングシステムを備えたポジショナーを備えています。ガス供給機は、処理室に必要な反応ガスを供給し、マニホールドブロック、圧力フィルタ、マスフローコントローラ、および温度制御ツールで構成されています。真空アセットは処理室の避難を担当し、荒削りポンプとロータリーベーン機械式ポンプで構成されています。この制御モデルにより、温度、ガス流量、原子炉圧力、ウェハ温度など、すべてのプロセスパラメータを正確に制御できます。また、時間をかけてプロセスデータを監視および記録するためのデータロギング機器も含まれています。システムは完全に自動化されており、迅速なセットアップ、製品実装、およびプロセス監視が可能です。APPLIED MATERIALTS CENTURA DPS+は、高品質の高品質なデバイスの生産を可能にするために設計された、信頼性の高い堅牢なシングルウェーハCVDツールです。このユニットは、本質的なプロセスパラメータを正確に制御することができ、クローズドループ制御機により、高レベルのプロセス安定性と再現性が保証されます。