中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #293607518 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+は、高度なICおよびMEMSデバイスの蒸着用に開発された高性能の熱反応プロセスチャンバーです。独自のLEANプロセスイノベーションを活用して、DPS+装置は、プラズマ活性化、リアクティブイオンエッチング（RIE）、および低消費電力プロセス機能を備えた統合プロセスモジュールと、プロセス化学およびパラメータの正確な制御を可能にするダイレクトドライブコントローラを組み合わせています。統合ツールはAMAT独自のSmartScanテクノロジーを利用しています。これにより、プロセスの最適化と迅速なパラメータ調整が自動化され、基板から基板、チャンバー間の変動に対応し、より再現性の高いプロセス結果が得られます。システムの超低圧技術（ULPT）により、20°C以下の温度が可能。これにより、このチャンバーは壊れやすい低k誘電材料の堆積に最適です。高度なプロセス制御（Advanced Process Control、 APC）により、プロセスの再現性と再現性がさらに向上します。統合されたAPCは、高性能の比例積分誘導（PID）アルゴリズムを備えており、作業環境を積極的に監視および調整して、プロセス純度、堅牢性、およびその他のレイヤーごとの望ましい仕様を保証します。幅約41m×高さ5。1m×奥行き6mを測定し、ISO 5クリーンルームのグレードに準拠しています。高k誘電体、バリア層、金属、有機金属、有機金属層などの圧縮膜、引張膜の堆積のための高度な機械です。このツールはまた、高度なフィルム形態制御のための優れたプロファイリング機能を提供します。先進的な8チャンバー設計と、ヒーター、石英タンク、シャワーヘッド、加熱RTP（リアクティブイオンエッチング）などの追加コンポーネントが含まれています。この資産には、作業環境のセキュリティを最大限に確保する包括的な安全モデルも装備されています。サイドウォール保護、アンチバックブラストケージ、プロセスアラーム、自動緊急遮断バルブなど、幅広い安全機能を備えています。DPS+はAPPLIED MATERIALS専用の3Dソフトウェアで動作し、高度なデバイス製造のための効率的な3Dプロセス統合を可能にします。全体として、AMAT Centura DPS+は、高性能ICおよびMEMSを製造するための高度な熱反応プロセスチャンバーです。低電力プロセス、ダイレクトドライブコントローラ、統合処理モジュール、SmartScan Technologyを組み合わせることで、他の熱反応器よりも多くの利点が得られます。さらに、安全装置とULPT技術により、プロセスの安全性と再現性がさらに確保され、8チャンバー設計により3Dプロセスの統合が可能になります。