中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS R1 #9188288 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS R1
ID: 9188288
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Etcher, 8" Process: Metal 1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS R1は、半導体用に設計された高品質の生産炉です。この装置は、真空環境で様々な材料をエッチングし、堆積するために使用されます。この原子炉の高温能力は、結果の品質を向上させるのに役立ちます。原子炉は、それが古いモデルよりも優れている技術のいくつかの部分が装備されています。これらには、多数のプラズマ源、シャワーヘッドを内蔵した自動大気圧反応室、イオン爆撃機などがあります。これらの機能により、AMAT Centura DPS R1は、高いステップカバレッジと均一性を備えたウェーハ上に材料の層を堆積することができます。原子炉の反応室は、最大1000°Cの温度に達することができます。これにより、高いリフローと優れた接着特性を持つ金属などの材料を製造することができます。プラズマ源は、蒸着速度と層均一性を最適化するために必要な電力レベルを生成するために慎重に調整されています。イオン爆撃は、反応空間内の条件を正確に制御することにより、材料の品質とプロセスの再現性をさらに向上させるように設計されています。ユニークな機能に加えて、原子炉には、機器と人員の両方を保護する安全機能も装備されています。これらには、プログラム可能な圧力制限、自動ドアロック、および統合された電源シャットオフが含まれます。この設計には、N2スクラバーと真空ポンプのシステムが組み込まれており、すべての揮発粒子と材料の破片が安全に保管され、ワークスペースから取り除かれます。APPLIED MATERIALS Centura DPS R1リアクターは、自動化されたプロセスを通じて、わずかな時間とコストで高品質の材料を生産するための優れたプラットフォームを提供します。Centura DPS R1システムの使用は、半導体ベースのエッチングおよび蒸着プロセスに信頼性が高く、費用対効果が高く、安全なソリューションを提供するため、強く推奨されています。
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