中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS R1 #9188286 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS R1は、汎用性とコンパクトなシングルウェーハ真空蒸着装置です。クイックアクセス設計により、多数の堆積プロセスに最適なシステムとして構成することができます。これは、コート間の基板シャットリングを必要とせずに、同じクラスタ内でウェーハ転送を提供します。ユニットによって有効になっている堆積プロセスは、単一およびシーケンシャルPVD、 ALD、スパッタ、酸化、およびアモルファスシリコンベースのプロセスです。DPS R1マシンは、モーション、ソフトウェア駆動モーションコントロールの経済のために設計されており、稼働時間を提供し、スループットを最大化します。成膜中のすべてのコンポーネントを監視するフルサイクルプロセス診断とオートメーションが搭載されているため、歩留まりの改善に役立つ再現性と信頼性の高いプロセスが得られます。AMAT Centura DPS R1は、誘電体、金属、パッシベーションフィルム、および低圧または高圧で堆積またはエッチングされたフィルム用に設計されています。これは基質応力とエッチング選択性を制御するのに役立ちます。このツールは完全に統合されており、水晶ベルジャー、真空アセット、ロードロック、およびウェーハ転送オートメーションが含まれています。統合ソフトウェアは、AMAT Genesisソフトウェアを搭載した直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスです。このソフトウェアは、リアルタイムデータの比類のない外観を提供し、インテリジェント診断を利用してデバッグプロセスを合理化します。また、インターフェイスデータを簡単に解釈でき、繰り返しタスクを迅速に処理できます。さらに、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）はガイド付きアプローチを提供し、堆積プロセスを最適化します。APPLIED MATERIALS Centura DPS R1は、スマートタワー技術と融合し、メンテナンスのダウンタイムとコストを削減します。最大3つのプロセスモジュールを1つのモデルに統合することで、ツールの構成時間と設備投資を削減できます。電力効率の高い設計は、ROIの向上にも役立ちます。要約すると、Centura DPS R1は経済的で高性能なシングルウェーハ真空蒸着装置であり、リアルタイムのデータ処理のために使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備え、一貫して反復可能なプロセスを迅速に提供します。シンプルな設計と強力な機能により、半導体業界の成膜プロセスに適しています。