中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly #9293858 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly Reactorは、さまざまな研究および産業用途に最適な、高性能で自動化された化学蒸着（CVD）装置です。リアクターはモジュラー設計を採用しており、多様な基板やプロセス条件を使用することができます。AMAT Centura DPS Poly Reactorは、金属、ポリシリコン、酸化膜、および厚さ、均一性、組成を正確に制御する多層膜を堆積する機能を備えています。この原子炉の高度なプロセスチャンバーは、人間工学に基づいたシンプルな設計で、非常に高い真空レベルを迅速かつ正確に達成することができます。それは高温露出に対する保護のための頑丈な水晶冷たい壁を特色にし、壁は最高の長寿のための特別な反腐食材料と塗られます。リアクターには、複数のウェハサイズの簡単なロードとアンロードのための自動ウェハトランスファーモジュールも含まれています。応用材料CENTURA DPS+POLYリアクターは、温度、圧力、蒸着速度、ドーパント濃度などのプロセスパラメータを正確かつ再現可能に制御できる最先端の制御システムを備えています。このユニットは柔軟性のために設計されているため、プロセスレシピを簡単に調整してさまざまなフィルムタイプやレイヤーに対応できます。また、原子炉には強力な真空機械があり、1E-7 Torrほどの低圧を達成することができます。さらに、垂直および横方向のウェーハ感受性、カラータッチスクリーンディスプレイ、直感的なソフトウェアインターフェイスなどの高度な機能を備えた高度なカスタマイズが可能です。また、プロセスの再現性と均一性に最適化された組み込みレシピの包括的なライブラリも付属しています。APPLIED MATERIALTS Centura DPS Poly Reactorは、幅広い機能、正確な制御、長寿命のため、さまざまな研究および産業用途に最適なツールです。これは、スピードと精度の両方でフィルムを堆積する必要がある任意の実験室や生産施設にとって非常に貴重な資産です。